产品名称：FUJIKIN富士金 自动阀门

FUJIKIN富士金    FWB-71-9.52-2#A  自动阀门

FUJIKIN富士金    FWB-71-9.52-2#A   自动阀门

可变式两段切换阀旨在防止在*先进的半导体工艺腔室内因剧烈流动导致的颗粒飞溅。
通过切换小流量与大流量，可使腔室内压力的上升更平滑。
此外，传统两段切换阀难以应对的现场使用线调整问题，现在可以轻松解决。
小流量设定可能Cv值范围公称直径6.35:0~*大Cv值公称直径9.52:0~0.25紧凑型高耐久(高寿命)小流量固定按钮通过锁定机构可将小流量设置为任意值。
小流量调整螺钉通过采用特殊机构，实现微小控制。
执行器
通过活塞结构实现**的流量切换。
小流量端口
大流量端口
大流量端口可输出MAX.Cv值
阀门结构
采用直接隔膜结构。

1、顺时针旋转小流量调节螺钉，直至小流量为0。

2、将小流量为0的位置设为零点，从该位置开始逆时针旋转小流量调整螺丝45度，并用小流量固定螺丝锁定。
3、测量小流量固定位置的流量。
4、根据测量值计算Cv值。
5.按照步骤2至4的方法，将小流量调整螺钉逆时针每45度旋转一次进行操作。

材料	不锈钢（SUS316L）
清洁度	完全无油
*大工作压力（MPa）	1
*高工作温度（°C）	40
*低工作温度（°C）	-10
连接格式	金属垫圈
特色	特殊材料气体，微调真空