产品名称：FLUORO福乐 真空吸盘6英寸

FLUORO福乐 真空吸盘6英寸 C003-Y-90-CP

FLUORO福乐 真空吸盘6英寸 C003-Y-90-CP

一、产品规格
型号：C001-X-96-CP
适配尺寸：6 英寸（150mm） 半导体硅晶圆
接头类型：球状旋转接头（Swivel）
阀门类型：NC（常闭）—— 通气才吸附，断气即释放
整体长度：245mmFluoro Mechanic
重量：约 23gFluoro Mechanic
笔身材质：导电尼龙（含碳纤维增强，型号 C001-X with 106）
吸头材质：导电 PEEK（96-CP，X 型四爪结构）
吸头尺寸：适配 6 寸晶圆，接触面更大、更均匀
动力方式：外接真空泵（适配福乐 FV 系列无油真空泵）
电阻率：10⁶–10⁸Ω，稳定抗静电
结构特点：笔身 / 吸头可拆分，便于清洁、更换与维护

二、产品特点
1. X 型四爪，6 寸晶圆专用吸附
96-CP 吸头为X 型四爪设计，接触面宽、分布对称，完全匹配 6 寸（150mm）硅晶圆尺寸。
吸附力均匀分散，大幅减少超薄 / 大尺寸晶圆的变形、崩边与隐裂风险。
四爪多点支撑，对翘曲晶圆也能稳定贴合，不掉片、不损伤背面电路。

2. 球状旋转，多角度灵活操作
内置360° 球状旋转接头，可任意角度偏转，狭窄空间、高低落差、倾斜工位都能轻松对位。
取放时无需大幅移动手臂，精准对准晶圆中心，减少碰撞与刮擦概率。
适合设备内部、花篮之间、检测台与载台之间的灵活转运。

3. NC 常闭，优先、防误吸
阀门为NC（Normally Closed，常闭）：不通真空时不吸附；接上真空、按下阀门才吸附；松手 / 断真空立即释放。
**冗余高：意外断气不会吸附工件，避免掉落、破碎；不用时无吸力，不会误吸杂物或粘连晶圆。
操作逻辑：按 = 吸、松 = 放，适合新手与对要求极高的工序。

4. 全链路抗静电，ESD 防护可靠
笔身、旋转接头、吸头全部采用导电材质，形成完整导电路径。
电阻率稳定在10⁶–10⁸Ω，可快速泄放静电，杜绝静电击穿栅极、烧毁芯片。
无金属外露，不会产生放电；符合半导体ESD 防护标准与洁净室要求。

5. 洁净无尘，适配高等级洁净室
表面光滑、无毛刺、无螺纹外露，不易积尘、不掉屑。
材质本身不发尘、不析出，满足Class 100 / ISO 5洁净室使用标准。
不会污染晶圆表面的光刻胶、氧化层或金属线路，适合光刻、刻蚀、镀膜前后工序。

6. 轻量化 + 耐用易维护
整机仅23g，长时间手持不易疲劳，适合流水线高频作业Fluoro Mechanic。
导电 PEEK 吸头耐酸碱、耐溶剂、耐高温，可在异丙醇、丙酮等环境下使用，寿命长。
模块化设计：吸头可单独更换，无需整支报废，降低长期使用成本。

三、产品用途
专用于6 英寸半导体硅晶圆、超薄晶圆、大尺寸精密芯片、LED 蓝宝石基板、光学玻璃 / 滤光片的真空吸附、搬运、取放与精准定位；尤其适合：
对防静电、防掉片、防刮伤要求高的精密工序；
需要多角度、灵活转运的复杂工位；
高等级洁净室内的全流程操作。

四、应用场景
半导体晶圆厂：6 寸硅片的切割、研磨、抛光、清洗、检测、镀膜、刻蚀等工序间搬运；超薄 / 大尺寸晶圆、翘曲晶圆优先选用。
光电子行业：6 寸 LED 外延片、蓝宝石基板、光学镜片、滤光片的无尘组装与测试。
精密电子制造：6 寸级别的陶瓷基板、精密传感器、微型光学元件的取放与定位。
科研 / 实验室：微电子样品、高精度器件、生物芯片在洁净环境下的转移。
复杂工况：设备内部、狭窄空间、多角度对位、频繁转向取放的工位。