产品名称：FLUORO福乐 真空吸盘6英寸

FLUORO福乐 真空吸盘6英寸 C002-X-96-CP

FLUORO福乐 真空吸盘6英寸 C002-X-96-CP

一、产品规格
型号：C002-X-96-CP
适配尺寸：6 英寸（150mm）*半导体硅晶圆
接头类型：球状旋转接头（Swivel，360° 旋转）
阀门类型：NO（常开）—— 通气即吸附，断气才释放
整体长度：245mmFluoro Mechanic
重量：约 23gFluoro Mechanic
笔身材质：导电尼龙（含碳纤维增强，型号 C002-X with 106）Fluoro Mechanic
吸头材质：导电 PEEK（96-CP，X 型四爪结构）Fluoro Mechanic
吸头尺寸：适配 6 寸晶圆，接触面宽、分布对称
动力方式：外接真空泵（适配福乐 FV 系列无油真空泵）
电阻率：10⁶–10⁸Ω，稳定抗静电Fluoro Mechanic
结构特点：笔身 / 吸头可拆分，便于清洁、更换与维护Fluoro Mechanic

二、产品特点
1. X 型四爪，6 寸晶圆适配
96-CP 吸头为X 型四爪设计，完全匹配 6 寸（150mm）硅晶圆尺寸，接触面均匀分散。
吸附力分布均衡，减少超薄 / 大尺寸晶圆的变形、崩边与隐裂风险，对翘曲晶圆也能稳定贴合。
四爪多点支撑，避免单点应力集中，保护晶圆背面电路与光刻胶层。

2. 球状旋转，灵活无死角
内置360° 球状旋转接头，可任意角度偏转，狭窄设备内部、高低落差工位、倾斜载台都能轻松对位。
取放时无需大幅移动手臂，精准对准晶圆中心，减少碰撞、刮擦与掉落概率。
适配花篮间、检测台与载台间的灵活转运，复杂工位效率提升显著。

3. NO 常开，高效持续吸附
阀门为NO（Normally Open，常开）：接上真空自动持续吸附，无需持续按压；按下顶部开关才释放。
操作逻辑：通气 = 吸、按键 = 放，适合高频次、连续取放工序，减少手部疲劳，提升流水线效率。
注意：断气时吸附力消失，需确保真空稳定；不使用时建议关闭真空，避免误吸杂物。

4. 全链路抗静电，ESD 防护到位
笔身、旋转接头、吸头全部采用导电材质，形成完整导电路径，无绝缘断点。
电阻率稳定在10⁶–10⁸Ω，快速泄放静电，杜绝静电击穿栅极、烧毁芯片，符合半导体 ESD 防护标准Fluoro Mechanic。
无金属外露，无放电风险，适配光刻、刻蚀等敏感工序。

5. 洁净无尘，高等级洁净室适配
表面光滑无毛刺、无螺纹外露、无金属零件，不易积尘、不掉屑。
材质本身不发尘、不析出，满足Class 100 / ISO 5洁净室使用标准Fluoro Mechanic。
不会污染晶圆表面的氧化层、金属线路或光学膜层，适配半导体全流程精密工序。

6. 轻量化耐用，易维护成本低
整机仅23g，轻量化设计，长时间手持不易疲劳，适配流水线高频作业Fluoro Mechanic。
导电 PEEK 吸头耐酸碱、耐溶剂、耐高温，可在异丙醇、丙酮等环境下使用，寿命长。
模块化拆分设计：吸头可单独更换，无需整支报废，降低长期耗材成本Fluoro Mechanic。

三、产品用途
专用于6 英寸半导体硅晶圆、超薄晶圆、大尺寸精密芯片、LED 蓝宝石基板、光学玻璃 / 滤光片的真空吸附、搬运、取放与精准定位；尤其适合：
高频次、连续取放的流水线工序；
需要多角度、灵活转运的复杂工位；
高等级洁净室内的高效精密操作。

四、应用场景
半导体晶圆厂：6 寸硅片的切割、研磨、抛光、清洗、检测、镀膜、刻蚀等工序间快速搬运；超薄 / 大尺寸晶圆、翘曲晶圆高频转运优先选用。
光电子行业：6 寸 LED 外延片、蓝宝石基板、光学镜片、滤光片的无尘组装、测试与批量转移。
精密电子制造：6 寸级别的陶瓷基板、精密传感器、微型光学元件的高效取放与定位。
科研 / 实验室：微电子样品、高精度器件、生物芯片在洁净环境下的快速转移与操作。
复杂工况：设备内部、狭窄空间、多角度对位、频繁转向取放的高频率工位。