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产品详情
  • 产品名称:FLUORO福乐 真空吸盘8英寸

  • 产品型号:C001-X-97-CP
  • 产品厂商:FLUORO福乐
  • 产品文档:
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简单介绍:
原装进口的 8 英寸半导体晶圆专用抗静电真空吸笔,采用导电尼龙笔身搭配导电 PEEK X 型吸头,配备球状旋转接头与NC 常关阀门结构。具备全链路 ESD 防护与高洁净度,可 360° 灵活转向对位,适合高洁净车间内 8 英寸精密晶圆的灵活取放、多角度定位与无损伤转运作业。
详情介绍:

FLUORO福乐 真空吸盘8英寸 C001-X-97-CP

FLUORO福乐 真空吸盘8英寸 C001-X-97-CP



一、产品规格

型号:C001-X-97-CP
适配规格:8 英寸(200mm)半导体硅晶圆
接头类型:球状旋转接头(360° 自由旋转)
阀门类型:NC 常关型(按下吸附,松手断吸)
笔身材质:导电尼龙(C001-X,含 100 金属管)
吸头材质:导电 PEEK,97-CP 标准 X 型三爪
电阻率:10⁶–10⁸Ω(ESD 抗静电)
尺寸:长度约 247mm,重量约 28g
动力来源:外接福乐 FV 系列无油真空泵
结构特点:模块化分体设计,笔身与吸头可拆分,便于清洁、检修与配件更换


二、产品特点

NC 常关阀门,可控防误吸
无真空时阀门常关,按下按钮才产生吸附力,松手立即释放,无持续吸力风险。适配单次精准拾取、短距离转移,避免意外吸附导致晶圆掉落,操作可控。
X 型三爪 + 旋转接头,灵活对位无死角
97-CP X 型三爪四点对称接触 8 英寸晶圆,受力更均匀,分散吸附应力,降低大尺寸晶圆变形、崩边及隐裂风险。搭配360° 球状旋转接头,可灵活调整吸头角度,适配倾斜、狭窄工位或多角度对位场景,定位更灵活。
全链路 ESD 防护,杜绝静电损伤
笔身、接头、吸头均采用导电材质,形成完整导电回路,快速导走作业静电,避免芯片、晶圆电路被静电击穿。符合半导体行业 ESD 防护标准,适配静电敏感元件操作场景
高洁净耐用,适配严苛车间环境
表面光滑无毛刺、无外露金属部件,作业不产粉尘,满足 Class 100/ISO 5 高等级洁净室要求。导电 PEEK 吸头耐酸碱、耐有机溶剂、耐高温,可使用 IPA、丙酮等试剂清洁,使用寿命长。轻量化机身(约 28g),人体工学设计,长时间手持不易疲劳。


三、产品用途

专用于 8 英寸半导体硅晶圆、超薄晶圆、大尺寸 LED 蓝宝石基板、精密芯片、光学镜片及玻璃基板等精密器件的真空吸附、灵活搬运、多角度对位与精准定位。尤其适合需频繁调整角度、对灵活性和防护性要求高的精密加工、检测及转运工序。


四、应用场景

半导体领域:8 英寸硅片切割、研磨、抛光、清洗、镀膜、刻蚀、检测等全流程工序的灵活转运,适配非固定工位与多角度操作场景。
光电子与精密电子:大尺寸 LED 外延片、光学滤光片、陶瓷基板、微型传感器的无尘组装、测试与批量转移。
科研实验室:微电子样品、高精度器件在高洁净环境下的多角度固定、观测与转运。
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