产品名称：FLUORO福乐 真空吸盘8英寸

FLUORO福乐 真空吸盘8英寸 C002-X-97-CP

FLUORO福乐 真空吸盘8英寸 C002-X-97-CP

一、产品规格

本款产品型号为 C002-X-97-CP，专门适配 8 英寸也就是 200mm 规格的半导体硅晶圆。产品搭载 360° 球状旋转接头，阀门采用 NO 常开结构。笔身选用导电尼龙材质，吸头为 97-CP 标准 X 型四爪结构，材质为导电 PEEK。产品电阻率稳定在 10⁶–10⁸Ω，满足防静电要求，整体长度约 247mm，重量约 28g。使用时需外接福乐 FV 系列无油真空泵提供负压动力，整体采用模块化分体设计，笔身与吸头可以拆分，方便日常清洁、维护以及配件更换。

二、产品特点

产品采用 NO 常开阀门结构，接通真空后便可保持持续吸附状态，仅需按下按钮即可释放工件，能够满足流水线连续取放作业需求，有效提升整体工作效率。搭配 X 型四爪吸头，四点对称接触晶圆表面，受力分布均匀，可有效保护常规厚度的 8 英寸晶圆。设备配备的球状旋转接头支持 360° 自由转动，即便在狭窄空间或是倾斜工位也能顺利操作，使用灵活便捷。整机各个部件均采用导电材质，形成完整的导电回路，可及时疏导作业产生的静电，防止晶圆与芯片电路被静电击穿，符合半导体行业 ESD 防护标准。产品表面光滑无毛刺，没有外露金属部件，作业过程中不会产生粉尘，契合 Class 100/ISO 5 高等级洁净室使用规范。导电 PEEK 材质的吸头耐酸碱、耐有机溶剂且耐高温，可使用异丙醇、丙酮等试剂清洁，使用寿命长久。机身重量轻便，符合人体工学，长时间手持操作也不容易产生疲惫感。

三、产品用途

本产品主要用于 8 英寸半导体硅晶圆、LED 蓝宝石基板、大尺寸光学镜片、玻璃基板等各类精密器件的真空吸附、多角度取放、长距离转运与精准定位，尤其适合需要灵活操作、连续作业的各类生产工序。

四、应用场景

在半导体行业中，可用于 8 英寸晶圆流水线上下料、多个工位之间的长距离转运，也能在倾斜、狭窄工位完成取放作业，同时可配合自动化设备完成辅助上料工作。在光电子与精密电子制造领域，可对大尺寸 LED 外延片、光学滤光片、陶瓷基板进行无尘组装以及多角度测试转移。此外，也适用于科研实验室，在高洁净环境中完成微电子样品、高精度器件的灵活转运与定位工作。