产品名称：FLUORO福乐 真空吸盘6寸

FLUORO福乐 真空吸盘6寸 F002-X-03-VP

FLUORO福乐 真空吸盘6寸 F002-X-03-VP

型号：F002-X-03

产品特点

聚酰亚胺复合吸头综合性能强劲，耐热表现突出，长期在 250℃环境下运行不会出现软化、变形、蠕变问题，短时可承受 400℃高温，适配半导体各类高温制程。材质热膨胀系数极低，高温环境下尺寸保持稳定，机械强度高，硬度适中不易碎裂，反复使用也不会变形松动。同时可抵御氢氟酸、强酸、强碱、有机溶剂、光刻胶剥离液等多种腐蚀介质，使用过程中不会出现溶胀、脆化现象。产品生产无额外填料、增塑剂添加，高温及药液环境下几乎不产生微粒与有机物析出，严格符合高等级洁净室标准，有效降低晶圆被污染、产生缺陷的概率。材质自带自润滑特性，表面经过镜面抛光处理，摩擦系数低，高频拾取作业时不会划伤、压伤工件，也不会出现粘片情况。此外该材质耐冷热交替、耐疲劳老化，长期真空作业与反复按压操作下，不会开裂、脆断，使用寿命远优于常规材质吸头。

常开式阀门结构适配连续化生产作业，常态下持续保持真空吸力，流水线批量搬运工件时，无需反复启停真空装置，有效提升工作效率。按键行程短、按压反馈清晰，单手便可完成取料、移位、放料整套操作，长时间作业手部不易产生疲劳。阀体内部采用聚四氟乙烯密封结构，耐药液腐蚀、耐高温，长期使用依旧气密性良好，吸力不会出现衰减。

笔身整体采用高纯聚四氟乙烯打造，连同接头、阀座等配件材质统一，可耐受绝大多数酸碱及有机溶剂侵蚀，在湿法腐蚀工况中不会被腐蚀、生锈，也不会对生产药液造成污染。表面光滑不易附着颗粒物，清洁维护简单，洁净性能出众。整机重量轻便，握持手感舒适，能够满足长时间精密操作的使用需求。

球状旋转接头支持 360° ***转动，还可在任意角度固定定位，面对不同工位、不同作业角度都能灵活适配，操作人员无需刻意扭转手腕，降低操作难度。接头密封部位搭配耐磨环，旋转过程中不会出现漏气问题，长期使用也不会松动旷位。

产品为日本原装精工一体加工成型，全程不使用胶水粘接，无拼接缝隙，从根源上避免配件脱落、漏气以及异物污染工件等问题。设备真空负压输出稳定，作业过程中不会出现掉吸、滑片现象，可稳定适配大尺寸、超薄类晶圆工件。吸头与笔身分体设计，吸头可单独更换，笔身能够重复使用，帮助用户控制使用成本。

整体材质绝缘性佳，摩擦过程中不易产生静电，能够保护晶圆、芯片等静电敏感元器件。作业时仅依靠真空吸附工件背面或边缘，不会接触工件电路区域，进一步规避工件损伤风险。

应用场景