产品名称：FLUORO福乐 真空吸盘8寸

FLUORO福乐 真空吸盘8寸 F002-X-05-PK

FLUORO福乐 真空吸盘8寸 F002-X-05-PK

型号：F002-X-05

产品特点

聚醚醚酮吸头综合性能出色，可在 180℃环境中长期稳定使用，短时能够承受 200℃高温，在高温清洗、热处理、固化等工序中不会出现软化、变形、粘连等情况。材质机械刚性强、抗蠕变能力佳，针对 8 英寸大尺寸晶圆、重型载板等重载工件，长期负重吸附也不会出现塌嘴、形变、断裂等问题。材料可耐受弱酸以及各类有机溶剂，使用过程中不溶胀、不降解、不变色，适配常规湿法生产环境。吸头自带自润滑特性，表面经过镜面抛光处理，摩擦系数低，高频次反复取放工件时，不会刮伤晶圆表面，也不易产生碎屑、粘片现象。材质纯净无多余填料，高温与药液环境下析出物极少，完全符合高等级洁净室标准，能够有效降低晶圆污染风险，提升生产良率，同时产品耐冷热循环、抗老化，使用寿命长久。

笔身、接头、阀座均采用高纯聚四氟乙烯一体加工成型，整体无胶水拼接、无缝隙，能够抵御酸碱以及有机溶剂侵蚀，在湿法工况中不会被腐蚀、生锈，也不会对生产药液造成二次污染。产品表面光滑致密，颗粒物难以附着，日常清洁打理便捷，严格满足高等级洁净车间的使用要求。整机重量轻盈，握持手感舒适，适合操作人员长时间开展高精度、高稳定性的取放作业。

球状旋转接头支持 360° ***转动，并且可以在任意角度锁定定位，灵活适配不同工位、不同倾角的作业需求。操作人员无需频繁扭转手腕调整姿势，有效降低操作难度与肢体疲劳。接头转动部位加装耐磨密封环，旋转过程气密性良好，即便长期高频使用，也不会出现漏气、松动、旷位等故障。

产品为日本原装精工制造，负压输出平稳，吸附力均匀牢固，搬运 8 英寸晶圆时不会出现滑片、掉吸等情况。设备采用模块化设计，吸头磨损后可单独更换，笔身能够重复使用，有效控制后期使用成本。聚醚醚酮与聚四氟乙烯绝缘性能优良，摩擦过程中不易产生静电，可妥善保护晶圆、芯片等静电敏感元器件。作业时仅吸附工件边缘与背面，不接触核心电路区域，***保障工件完好无损。