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  • 产品名称：FLUORO福乐 真空吸盘8寸

  • 产品型号：F003-X-05-VP
  • 产品厂商：FLUORO福乐
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简单介绍：
吸头采用Vespel（聚酰亚胺） 材质，耐高温性能优异；搭配 360° 球状旋转接头与双控阀门（常态真空吸附、按压释放）。整体轻量化 38g、长 248mm，适配高等级洁净室、高温工况与静电敏感制程，日本原装进口
详情介绍：

FLUORO福乐 真空吸盘8寸 F003-X-05-VP

FLUORO福乐 真空吸盘8寸 F003-X-05-VP



型号：F003-X-05

适配规格：8 英寸半导体晶圆
整体总长：248mm
产品重量：38g
连接接头：360° 球状旋转，可任意角度锁定
控制方式：常开加可控开关，常态保持吸附状态，按压释放工件
笔身材质：高纯聚四氟乙烯，外观为白色
吸头材质：导电聚酰亚胺，外观为深灰色，耐高温且高耐磨
表面工艺：精密镜面抛光，低摩擦、低产尘
适用温度：长期使用温度 - 50℃~200℃，短时耐受温度可达 250℃
适用环境：高等级洁净车间、弱酸工况、高温制程、静电敏感工序、高频次作业场景


产品特点

常开加可控开关设计使用灵活，设备常态下持续维持真空吸力，适配流水线连续作业，无需反复启停设备，有效提升工作效率。操作人员单手即可完成取料、移位、放料整套流程，按键反馈清晰，长时间作业不易产生手部疲劳。阀体内部采用聚四氟乙烯密封结构，耐温、耐酸碱腐蚀，密封性能持久稳定，长期使用不会出现漏气、吸力衰减等问题，真空输出始终保持平稳。


导电聚酰亚胺吸头综合性能强悍，耐高温表现突出，可在 200℃环境中长期稳定运行，短时能够承受 250℃高温，充分适配退火、烘烤、薄膜沉积等高温生产工序。材质机械强度高、耐磨性能优异，表面经镜面抛光处理，摩擦系数低，高频反复取放工件时，不会刮伤晶圆表面，也不会出现粘片、掉屑等问题。同时可耐受酸碱及各类有机溶剂侵蚀，在湿法清洗、刻蚀等工况中不溶胀、不变质。材料本身析出物极少，完全符合高等级洁净室使用标准，搭配导电特性，可有效疏导静电，保护晶圆、芯片等静电敏感元器件。


笔身、接头、阀座均采用高纯聚四氟乙烯一体加工成型，无胶水拼接、无拼接缝隙，能够抵御酸碱以及有机溶剂侵蚀，在腐蚀工况中不会生锈，也不会对生产药液造成二次污染。产品表面光滑致密，颗粒物难以附着，日常清洁打理便捷，严格满足高等级洁净车间的使用要求。整机重量轻盈，握持手感舒适，可支持操作人员长时间开展高精度、高稳定性的取放作业。


球状旋转接头支持 360° ***转动，并且能够在任意角度锁定定位，灵活适配不同工位、不同倾斜角度的作业需求。操作人员无需频繁扭转手腕调整姿势，有效降低操作难度与肢体疲劳。接头转动部位配有耐磨密封环，旋转过程气密性良好，即便长期高频使用，也不会出现漏气、松动、旷位等故障。


产品为日本原装精工制造，负压输出均匀稳定，吸附力牢固，搬运 8 英寸大尺寸晶圆时，不会出现滑片、掉吸等情况。设备采用模块化设计，吸头出现损耗后可单独更换，笔身能够重复使用，有效降低后期使用成本。作业时仅吸附工件边缘与背面，不接触核心电路区域，***保障工件完好无损。

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