产品名称：FLUORO福乐 真空泵

FLUORO福乐 真空泵 FV-60-240

FLUORO福乐 真空泵 FV-60-240

1. 核心定位与型号含义

型号：FV-60-240
品牌：福乐
品类：无油隔膜式真空泵
用途：八至十二英寸半导体晶圆真空吸具供气，也可作为洁净室高真空负压源
型号解析：负压极限约负六百毫米汞柱，适配二百二十至二百四十伏电压规格

2. 核心材质与洁净特性

泵体采用导电尼龙材质，防静电且析出物少，符合洁净室使用标准
隔膜为耐腐蚀复合材质，运行产尘量低，使用寿命长久
进出气端均配置过滤装置，可高效拦截微小颗粒，保障气流洁净
设有透明观察窗，可直观查看滤芯状态，便于及时更换维护

3. 关键规格参数

气体流量：每分钟二点五升
极限真空度：负六百毫米汞柱
工作电源：交流二百二十至二百四十伏，频率五十至六十赫兹
运行功耗：十瓦
外形尺寸：长一百三十七毫米，宽八十八毫米，高一百三十三毫米
设备重量：约一千二百五十克
运行能力：支持二十四小时连续工作
设计寿命：不低于八千七百六十小时
适配工件：八至十二英寸晶圆
工作温度：五至四十摄氏度
运行噪音：低于四十分贝

4. 结构设计与操作逻辑

采用无油隔膜结构，依靠电磁驱动运作，无需加注润滑油，避免油雾污染
整机做防静电处理，搭配标准接口，可加装接地配件，防护精密工件
机身造型紧凑，摆放位置灵活，适配洁净室有限空间
安装使用简单，接通电源即可搭配同系列真空吸具，上手便捷

5. 性能优势

真空吸力强劲，可稳定吸附大尺寸晶圆，运行负压持久稳定
多重洁净设计，粉尘与污染物少，有效保障生产产品品质
防静电效果良好，降低静电对精密电子元件造成损坏的风险
功耗较低，长期连续使用也能控制运行成本
整体结构牢靠，易损件少，日常仅需定期更换滤芯，维护简便
运行噪音低，不会影响车间作业环境

6. 典型应用场景

半导体行业，为八至十二英寸晶圆搬运吸具提供负压，完成各工序转运作业
精密电子领域，用于大尺寸光学镜片、掩膜版、芯片的真空吸附与组装
医疗生物行业，满足洁净室内过滤、样本转运、无菌包装等真空需求
实验室场景，开展真空过滤、物料脱泡、样品处理等相关作业