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产品详情
简单介绍:
BAR‑J65 为 MIYUKI 美幸辉 65A 口径真空伺服蝶阀,采用 JIS 法兰与伺服直驱结构,无金属滑动部件。阀体为 SUS304 不锈钢,标配氟橡胶密封,漏率低至 1×10⁻⁹ Pa・m³/s,可承受 150℃烘烤,适配高真空精密调压与隔离。
详情介绍:
MIYUKI美幸辉 控制门阀 BAR-J65 BAR-J65
MIYUKI美幸辉 控制门阀 BAR-J65 BAR-J65
(一)规格参数
BAR‑J65 公称通径 65A(DN65),适配 JIS B2290 标准法兰,工作压力范围覆盖 10⁵ Pa 常压至 10⁻⁵ Pa 高真空,可满足中大口徑宽区间真空工况需求。密封性能可靠,内部密封泄漏率≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s,轴封泄漏率≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s,有效保障真空腔体密闭性。气体接触部件采用 SUS304 不锈钢,密封件选用氟橡胶材质,阀体*高耐受 150℃烘烤温度,电机工作温度≤40℃。驱动为 DC24V 伺服电机直驱,控制方式支持 4~20mA 模拟量与 RS485 通信,可适配多款控制器实现开度精准调控。
(二)结构特性
产品采用角行程蝶阀结构,由阀体、蝶板、阀杆、密封件及伺服驱动装置组成,结构简洁紧凑,部件数量少,降低故障风险与维护复杂度。伺服直驱设计使电机与阀杆直接连接,消除传动背隙,阀位重复定位精度高,可实现 0°~90° 全行程无级调节,适配微小开度精密控制场景。无金属滑动部件的结构设计,避免金属摩擦产生颗粒物,内腔经抛光处理,减少气体吸附与残留,适配高洁净度真空环境。法兰连接采用 JIS 标准,螺栓紧固式安装,适配水平、垂直等多种管路布局,装配便捷且密封稳固。
(三)运行性能
BAR‑J65 具备优异的真空密封性能,氟橡胶密封件适配高真空工况,长期运行密封无老化失效风险,可稳定维持真空环境。流量与压力控制精度高,伺服驱动响应迅速,启停动作平稳,运行噪音极低,即使在微小开度下也能保持压力稳定,适配精密真空调压工艺。耐高温性能满足真空系统烘烤除气需求,阀体可承受 150℃高温,有效去除腔体内部残留气体,提升系统洁净度与稳定性。低放气特性突出,SUS304 不锈钢与氟橡胶材质气体释放量低,减少对真空腔体与工艺介质的污染,保障工艺纯度。
(四)适用范围
产品主要应用于中大口徑高真空及超高真空系统,涵盖半导体制造、真空镀膜、离子注入、刻蚀设备、光伏制造、科研实验室等领域。适配需精密压力控制的真空管路,可在全关状态下可靠隔离腔体,也能在任意开度下精准调节流量,满足多种真空工艺的隔离与调压需求。适用于高洁净度要求的工况,如电子器件加工、精密仪器真空测试、制药无菌真空干燥等场景,低发尘、低放气特性可避免颗粒物与杂质污染,保障产品良率与实验准确性。适配高温真空烘烤环境,可用于需定期除气的真空系统,维持长期稳定的高真空状态。
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