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高斯摩产品分类
PRODUCT CLASSIFICATION
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- FLUORO福乐
- LINTEC琳得科
- NISSIN 日伸理化
- Nichiryo 立洋
- IMV艾目微
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- AND艾安得
- NPM电机
- CKD
- shindengen 新电元
- Yokogawa 横河
- SMC/日本
- 山武 azbil
- NPM日本脉冲
- 住友化学
- THOMAS托马斯科学仪器
- SAKAGUCHI坂口电热
- OHKURA大仓
- suiden瑞电
- AMANO安满能
- EYE岩崎
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- MEIJI明治
- 大阪大友 OSAKA-TAIY...
- TOSEI东精
- OTSUKA大塚电子
- KYOWA共和
- CCS晰写速
- TSUBAKI 椿本
- MATSUO松尾电气
- SUGAWARA 菅原
- Kakuhunt写真化学
- SIBATA柴田
- SUGIYAMA杉山电机
- NIDEC尼得科
- ADVANTEC东洋
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- DKK-TOA东亚电波
- OSHOMANOKI 大岛
- MARU 丸七
- yamamoto山本制作所
- NARISHIGE成茂
- SHOWA昭和电机
- 德国DRUSEIDT
- NITTO KOHKI日东工器
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- FUJICON富士
- 意大利ARTEC
- FUSOSEIKI扶桑精机
- MICROSTONE微石
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- 土耳其OLEOCON
- DIT东日技研
- LEPTRINO莱普利诺
- KASHIYAMA樫山工业
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- 德国IPF
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- 德国ISOLOC
- KOTOHIRA琴平
- 意大利GEV
- ANALYZER**热研
- 德国JOKARI
- YAMABISHI山菱电机
- 德国MICROSONIC
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- NAGANO长野计器
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- ADCMT爱德万
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- NS精密科学
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- POLARION普拉瑞
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- SAGADEN嵯峨电机
- EMIC爱美克
- YAMAMOTO-MS山本镀金
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- COSMOS新宇宙
- REVOX莱宝克斯
- TSUTSUI筒井理化学
- MINORU SANGYO美浓...
- KASUGA春日电机
- SANKO山高
- KUBOTA久保田
- AKIYAMA秋山机械
- NIPPON GEAR日本齿轮
- HONDA本多
- YAZAWA矢泽科学
- OTAKE大竹
- SANEI三荣
- SIMCO思美高
- 德国EGE-ELEKTRONI...
- WATSON深江化成
- 捷克DINEL
- Osaka Vacuum大阪真...
- SONIC索尼克
- NDK电色
- MITUTOYO 三丰
- KYORITSU共立机巧
- AMADA天田
- 意大利RACFLUID
- 意大利多利拿TOGNELLA
- 法国CLAVEL
- USHIO牛尾
- ONO SOKKI/小野测器
- COSIMO科斯莫
- TOPCON拓普康
- AND爱安德
- KOKUSAN科库森
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- MTL梅特勒托利多
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- Olympus 奥林巴斯
- EIKOSOKKI
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- FUNATECH船越龙
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- SEKONIC世光
- ITOH 伊藤电机
产品详情
简单介绍:
一体式直驱无齿轮摩擦结构,全程无级精密控流;全 SUS304 阀体搭配 FKM 密封,常压至高真空工况通用,低放气低微粒析出,启闭静音,任意管路角度均可装配,多用于镀膜、刻蚀主干管路稳压。
详情介绍:
MIYUKI美幸辉 控制门阀 GAR-J200B GAR-J200B
MIYUKI美幸辉 控制门阀 GAR-J200B GAR-J200B
(一)产品规格参数说明
GAR-J200B 公称通径 DN200(200A),J 代表 JIS B2290 日标法兰,B 配置断电制动伺服电机;适用压力 10⁵Pa 常压~10⁻⁶Pa 高真空,介质接触面通体 SUS304 不锈钢,阀座与阀轴选用 FKM 氟橡胶密封;阀体内泄漏≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s,轴端外泄漏≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s;阀体*高耐受 150℃高温烘烤,驱动电机环境使用温度≤40℃;标配电位式阀位反馈,可外接控制系统实现 PID 闭环稳压,支持 ISO、CF 法兰及特种密封材质非标定制。
(二)产品结构与性能特点
整机伺服电机一体化直驱架构,取消齿轮、连杆摩擦传动部件,从源头减少粉尘脱落与阀体放气,契合半导体高洁净制程标准;内置断电刹车锁紧机构,突发断电瞬间锁定当前开度,全关状态严密断流,规避腔体真空突变;内腔流线优化减小流阻,0~全开全行程开度线性可控,微小开度节流稳压稳定性优异;内置缓冲减震构造,启闭动作平缓无冲击、运行低噪;大口径紧凑结构,无安装角度限制,水平、竖直、斜装管路通用,原厂无尘车间全工序装配出厂。
(三)适用应用领域说明
适配 DN200 大口径洁净真空主管流量管控,半导体 PVD/CVD 镀膜、干法刻蚀设备主负压精准调节,稳定整线腔体工艺真空;光伏硅片量产镀膜、液晶面板蒸镀生产线主干管路调压;高校科研院所超高真空试验平台、惰性气体密闭循环主管分压控制;大型硬质涂层真空炉、等离子热处理炉大管径稳压;制药大型真空冻干机组、精细化工高纯原料密闭真空输送主管;各类对洁净度、泄漏指标管控严苛的大口径真空工艺管线配套使用。
(四)安装与运维相关说明
无安装方向约束,JIS 日标法兰对角均匀紧固即可完成密封装配;日常维保重点定期点检 FKM 密封圈老化损耗,SUS304 不锈钢阀体耐常规弱酸弱碱腐蚀,本体长期工况损耗极低;阀体预留标准化电气接线端子,外接压力控制仪表即可快速校验阀位、排查电气故障;出厂完成密封性与开度全项标定检测,现场接驳电源与控制线即可投产;日常保养仅需擦拭阀体外表污渍,依据工况周期更换密封配件,维保工序简便省时。
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