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产品详情
  • 产品名称:MIYUKI美幸辉 控制门阀

  • 产品型号:GAR-J200B GAR-J200B
  • 产品厂商:MIYUKI美幸辉
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简单介绍:
一体式直驱无齿轮摩擦结构,全程无级精密控流;全 SUS304 阀体搭配 FKM 密封,常压至高真空工况通用,低放气低微粒析出,启闭静音,任意管路角度均可装配,多用于镀膜、刻蚀主干管路稳压。
详情介绍:

MIYUKI美幸辉 控制门阀 GAR-J200B GAR-J200B


MIYUKI美幸辉 控制门阀 GAR-J200B GAR-J200B




(一)产品规格参数说明

GAR-J200B 公称通径 DN200(200A),J 代表 JIS B2290 日标法兰,B 配置断电制动伺服电机;适用压力 10⁵Pa 常压~10⁻⁶Pa 高真空,介质接触面通体 SUS304 不锈钢,阀座与阀轴选用 FKM 氟橡胶密封;阀体内泄漏≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s,轴端外泄漏≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s;阀体*高耐受 150℃高温烘烤,驱动电机环境使用温度≤40℃;标配电位式阀位反馈,可外接控制系统实现 PID 闭环稳压,支持 ISO、CF 法兰及特种密封材质非标定制。


(二)产品结构与性能特点

整机伺服电机一体化直驱架构,取消齿轮、连杆摩擦传动部件,从源头减少粉尘脱落与阀体放气,契合半导体高洁净制程标准;内置断电刹车锁紧机构,突发断电瞬间锁定当前开度,全关状态严密断流,规避腔体真空突变;内腔流线优化减小流阻,0~全开全行程开度线性可控,微小开度节流稳压稳定性优异;内置缓冲减震构造,启闭动作平缓无冲击、运行低噪;大口径紧凑结构,无安装角度限制,水平、竖直、斜装管路通用,原厂无尘车间全工序装配出厂。


(三)适用应用领域说明

适配 DN200 大口径洁净真空主管流量管控,半导体 PVD/CVD 镀膜、干法刻蚀设备主负压精准调节,稳定整线腔体工艺真空;光伏硅片量产镀膜、液晶面板蒸镀生产线主干管路调压;高校科研院所超高真空试验平台、惰性气体密闭循环主管分压控制;大型硬质涂层真空炉、等离子热处理炉大管径稳压;制药大型真空冻干机组、精细化工高纯原料密闭真空输送主管;各类对洁净度、泄漏指标管控严苛的大口径真空工艺管线配套使用。


(四)安装与运维相关说明

无安装方向约束,JIS 日标法兰对角均匀紧固即可完成密封装配;日常维保重点定期点检 FKM 密封圈老化损耗,SUS304 不锈钢阀体耐常规弱酸弱碱腐蚀,本体长期工况损耗极低;阀体预留标准化电气接线端子,外接压力控制仪表即可快速校验阀位、排查电气故障;出厂完成密封性与开度全项标定检测,现场接驳电源与控制线即可投产;日常保养仅需擦拭阀体外表污渍,依据工况周期更换密封配件,维保工序简便省时。
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