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产品详情
  • 产品名称:MIYUKI美幸辉 控制门阀

  • 产品型号:GAR-I200B GAR-I200B
  • 产品厂商:MIYUKI美幸辉
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简单介绍:
一体式无齿轮直驱结构,减少粉尘析出。过流腔体全不锈钢配 FKM 密封,适用常压至高真空,全程连续精密调流,小开度稳压平稳,运行低噪无震动,管路任意角度均可装配,多用于大型真空设备主管恒压管控。
详情介绍:

MIYUKI美幸辉 控制门阀 GAR-I200B GAR-I200B


MIYUKI美幸辉 控制门阀 GAR-I200B GAR-I200B




(一)产品规格参数说明

GAR-I200B 公称通径 DN200,I 代表 ISO 法兰标准,B 为断电制动伺服配置;适用压力 10⁵Pa 常压~10⁻⁶Pa 高真空,介质接触面通体 SUS304 不锈钢,阀座、阀轴 FKM 氟橡胶密封;阀体内泄漏≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s,轴端外泄漏≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s;阀体*高烘烤温度 150℃,伺服电机环境使用≤40℃;自带阀位实时反馈,兼容 RS485/RS232 通讯,搭配 MS-VP 控制器完成全自动 PID 闭环稳压,支持 CF 法兰、Kalrez 全氟醚密封非标改制。


(二)产品结构与性能特点

整机伺服一体化直驱结构,取消齿轮、连杆摩擦传动件,大幅降低放气与产尘,适配无尘洁净制程;内置电磁刹车机构,断电瞬间锁死当前开度,可选定制断电全关款式,避免大型腔体真空骤变;内腔流线优化流道,降低大流量气体阻力,0 至全开行程线性度优异,微量开度调压精准;阀内集成缓冲减震结构,启闭平缓无冲击、整机静音运行;大口径阀体结构紧凑无安装限制,水平、立式、斜装全部适用,原厂无尘车间组装出厂。


(三)适用应用领域说明

适配 DN200 超大口径真空主管精准控压,半导体量产线 PVD/CVD 镀膜、大型干法刻蚀腔体主管道负压调节;光伏超大基板镀膜、液晶面板量产蒸镀设备主干管路稳压;科研院所大型超高真空试验腔体、保护性惰性气体循环主路分压控制;大型连续式硬质涂层真空炉、等离子热处理炉进气总管调压;大型冻干生产线、精细化工高纯原料密闭真空输送主干管线,高洁净低泄漏大口径真空系统主力配套阀门。


(四)安装与运维相关说明

无安装朝向限制,ISO 法兰对角均匀锁紧即可密封固定;日常维保重点定期检查 FKM 密封圈老化损耗,SUS304 阀体耐常规弱酸弱碱,本体使用寿命长久;阀体预留标准化接线与通讯端口,外接压力变送器即可快速校验阀位、排查电控故障;出厂已完成气密性与全行程标定,现场接驳电源与控制线即可投入使用;日常保养仅擦拭阀体外壳,依据现场工况定期更换密封件,整机检修维护便捷省心。
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