产品名称：MIYUKI美幸辉 气动蝶阀

MIYUKI美幸辉 气动蝶阀 B-J65 B-J65

MIYUKI美幸辉 气动蝶阀 B-J65 B-J65

（一）产品规格参数说明

BAR-J65 公称通径 DN65，J 代表 JIS 日标法兰，B 配置断电制动伺服电机；适用压力 10⁵Pa 常压～10⁻⁶Pa 高真空，过流零部件 SUS304 不锈钢，蝶板、阀轴 FKM 氟橡胶密封；阀体内泄漏≤1×10⁻⁹Pa・m³/s，轴端外泄漏≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s；阀体*高烘烤温度 120℃，伺服电机环境使用温度≤40℃；标配阀位反馈信号，兼容 RS485 通讯，配合 MS-VP 控制器实现 PID 闭环稳压，可改制 KF、ISO、CF 法兰及 Kalrez 全氟醚密封。

（二）产品结构与性能特点

整机伺服一体式直驱构造，取消齿轮连杆摩擦配件，从源头降低粉尘析出与阀体放气量，满足半导体洁净生产要求；内置断电瞬时锁止机构，突发断电锁定当前开度，可选断电全关定制，规避腔体真空突变；流线蝶板优化流阻，0～90° 全行程开度线性均衡，微量开度节流精度优异；内置缓冲减震组件，启闭平缓无冲击、整机静音运行；阀体结构紧凑，卧式、立式、斜装均可装配，原厂无尘车间装配标定出厂。

（三）适用应用领域说明

适配 DN65 管径真空支路调压，半导体 PVD、等离子清洗、小型刻蚀设备分支管路负压调节；实验室光学蒸镀、科研型真空热处理炉分压控制；光伏元器件镀膜、中小型元器件真空烧结设备旁路控流；小型真空冻干机组、精细化工特种工艺气体输送支管精密节流；常配合 GAR 系列主调节阀组成主次调压系统，各类中管径洁净真空管线配套选用。

（四）安装与运维相关说明

JIS 法兰配密封垫片对角均匀锁紧即可密封固定，无安装方位约束；日常维保定期点检 FKM 密封圈老化损耗，SUS304 不锈钢阀体耐常规弱酸弱碱腐蚀，本体使用寿命长；阀体预留标准化接线与通讯端子，外接压力变送器即可快速校验阀位、排查电控故障；出厂完成气密性与全行程开度标定，现场接线通电即可投入使用；日常保养擦拭阀体外壳，依照工况周期更换密封配件，检修维护简便高效。