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产品详情
  • 产品名称:MIYUKI美幸辉 气动蝶阀

  • 产品型号:B-J200 B-J200
  • 产品厂商:MIYUKI美幸辉
  • 产品文档:
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简单介绍:
整体 SUS304 阀体搭配 FKM 密封,覆盖常压至高真空区间,大通流兼顾微量调压精度,缓冲启闭低震动,全方向可装配,多用于镀膜产线总管路主控稳压。
详情介绍:

MIYUKI美幸辉 气动蝶阀 B-J200 B-J200

MIYUKI美幸辉 气动蝶阀 B-J200 B-J200



(一)产品规格参数说明

BAR-J100 公称通径 DN100,J 代表 JIS 日标法兰,B 为断电制动伺服配置;适用压力 10⁵Pa 常压~10⁻⁶Pa 高真空,通流构件 SUS304 不锈钢,蝶板、阀轴 FKM 氟橡胶密封;内泄漏≤1×10⁻⁹Pa・m³/s,轴端外泄漏≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s;阀体*高烘烤 120℃,伺服电机环境使用≤40℃;标配阀位反馈信号,RS485 通讯对接 MS-VP 控制器实现 PID 闭环调压,支持 KF/ISO/CF 法兰、Kalrez 全氟醚密封非标改制。


(二)产品结构与性能特点

整机伺服一体化直驱结构,取消齿轮连杆摩擦配件,从源头降低产尘与材料放气量,符合半导体高洁净生产规范;内置断电瞬时锁止机构,停电锁定现有开度,可选断电全关定制,规避工艺腔体真空骤变;流线蝶板优化气流阻力,0~90° 全行程开度线性均匀,微量开度调压精度优异;内置缓冲减震组件,启闭平缓无冲击、整机静音运转;阀体结构紧凑,立式、卧式、斜装全兼容,原厂无尘车间组装标定出厂。


(三)适用应用领域说明

适配 DN100 中口径真空管路调压,半导体 PVD、PECVD、小型干法刻蚀分支管路负压调控;光伏基板镀膜、中小型面板蒸镀设备支路稳压;科研院所中型超高真空腔体、离子源设备进气分压;中型连续式真空热处理炉、工业冻干机组管路节流;精细化工特种保护气体密闭输送支管精准控流,常配合 GAR 主调节阀组成主次调压系统。


(四)安装与运维相关说明

JIS 法兰加装密封垫片对角均匀锁紧即可密封固定,无安装方位约束;日常维保定期点检 FKM 密封圈老化损耗,SUS304 不锈钢阀体耐常规弱酸弱碱腐蚀,阀体使用寿命长久;阀体预留标准化接线与通讯端子,外接压力变送器即可快速校验阀位、排查电控故障;出厂完成气密性与全行程开度标定,现场接线通电即可投产;日常保养擦拭阀体外壳,依托现场工况周期更换密封配件,维保简易省时。
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