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产品详情
  • 产品名称:MIYUKI美幸辉 气动蝶阀

  • 产品型号:B-I80 B-I80
  • 产品厂商:MIYUKI美幸辉
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简单介绍:
BAR-I80 为 DN80 ISO 法兰伺服真空蝶阀,B 型断电自锁一体式伺服直驱,无齿轮摩擦结构降低扬尘放气。SUS304 阀体配 FKM 密封,覆盖常压至高真空区间,全行程连续精准调流,小开度稳压平稳低噪,安装不受管路朝向限制,多用于镀膜刻蚀设备支路稳压。
详情介绍:

MIYUKI美幸辉 气动蝶阀 B-I80 B-I80


MIYUKI美幸辉 气动蝶阀 B-I80 B-I80




(一)产品规格参数说明

BAR-I80 公称通径 DN80,I 代表 ISO 真空法兰,B 配置断电抱闸伺服电机;适用压力 10⁵Pa 常压~10⁻⁶Pa 高真空,过流部件 SUS304 不锈钢,蝶板、阀轴 FKM 氟橡胶密封;阀体内泄漏≤1×10⁻⁹Pa・m³/s,轴端外泄漏≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s;阀体*高烘烤 120℃,伺服电机环境使用≤40℃;标配阀位反馈信号,RS485 通讯对接 MS-VP 控制器实现 PID 闭环调压,可改制 KF、CF 法兰及 Kalrez 全氟醚密封。


(二)产品结构与性能特点

整机伺服一体化直驱构造,取消齿轮连杆摩擦配件,从源头控制粉尘析出与阀体放气量,契合半导体洁净生产标准;内置断电瞬时锁止机构,突发停电锁定现有开度,可选断电全关定制,避免工艺腔体真空骤变;流线蝶板优化气流阻力,0~90° 全行程开度线性均匀,微量开度调压精度优异;内置缓冲减震组件,启闭平缓无冲击、整机静音运转;阀体结构紧凑稳固,立式、卧式、斜装均可装配,原厂无尘车间组装标定出厂。


(三)适用应用领域说明

适配 DN80 中口径真空管路精准控压,半导体 PVD、PECVD、等离子清洗设备分支管路负压调节;中小规格光伏镀膜、元器件真空烧结炉管路稳压;实验室中型蒸镀设备、科研热处理真空炉分压管控;中型真空冻干设备、精细化工特种工艺气体输送支管节流;常与 GAR 系列主调节阀配套构成主次调压系统,各类中口径高洁净真空管线优选。


(四)安装与运维相关说明

ISO 法兰搭配密封垫片对角均匀锁紧即可密封固定,无安装角度约束;日常维保定期点检 FKM 密封圈老化损耗,SUS304 不锈钢阀体耐常规弱酸弱碱腐蚀,整机使用寿命长久;阀体预留标准化接线与通讯端子,外接压力变送器即可快速校验阀位、排查电控故障;出厂完成气密性与全行程开度标定,现场接线通电即可投产;日常保养擦拭阀体外壳,结合现场工况周期更换密封配件,维保简单便捷。
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