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产品详情
简单介绍:
大通径启闭力矩富余;双开度控制结构,0~45° 无级限位微调实现腔体慢速进气稳压,90° 全开快速破真空泄压。阀体流道镜面精抛、无尘车间装配,粉尘析出少、导通导电优异,多用于量产镀膜总管、大型锂电烧结炉主路、真空舱总切断、大流量真空泵入口主控阀。
详情介绍:
MIYUKI美幸辉 气动蝶阀 BH-I100 BH-I100
MIYUKI美幸辉 气动蝶阀 BH-I100 BH-I100
(一)规格参数
公称通径:100A(DN100),标配 JIS 法兰,可选 ISO、KF、CF 法兰接口真空适用区间:常压 1×10⁵Pa~高真空 1×10⁻⁵Pa;阀座内漏≤1×10⁻⁹Pa・m³/s,阀杆轴封泄漏≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s
气源工况:0.4~0.6MPa 洁净干燥压缩空气;过流本体 SUS304 不锈钢,标配 FKM 氟橡胶密封,腐蚀工况可换全氟醚密封,长期耐温≤150℃
驱动配置:双级增压气动气缸,0~45° 开度可调限位 + 90° 全开双限位,可选配阀位反馈感应开关,远程采集阀门状态
(二)结构性能
阀缸一体化集成结构,内部传动构件精简、摩擦低发尘,适配半导体、锂电高纯洁净制程;气缸行程末端气垫缓冲,消减启闭冲击、降噪减震。中线全包覆弹性密封,全关双向承压零泄漏,无介质流向约束,立式 / 卧式 / 斜装均可。阀体镜面抛光通流顺畅、整体防静电导电,出厂全气密检漏,兼具精密节流调压与大流量管路切断两用性能。
(三)适用行业
半导体:量产 PVD/CVD 主真空管道、大型晶圆炉腔体进气调压总阀;锂电:连续式烧结炉总管、大容量电芯真空脱泡仓、烘干炉真空主切断;
精细化工:大管径负压反应釜、高纯腐蚀性工艺气体主管;
科研设备:大型热处理真空炉、卷绕镀膜设备、氦检检漏机组主控;
通用真空:大功率真空泵进出口、中型真空腔体破真空调压。
(四)安装与运维
阀体无安装方向限制,按管路规格选配对应法兰紧固件;气源前端加装过滤减压阀,投用前排空管路积水杂质。维保:周期更换气源滤芯;FKM 密封圈根据介质腐蚀周期定期更换;304 阀体使用中性溶剂擦拭;开度调节仅微调气缸端部限位螺钉,无需解体阀体,检修拆装简便。
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