产品名称：MIYUKI美幸辉 气动蝶阀

MIYUKI美幸辉 气动蝶阀 BH-N63 BH-N63

MIYUKI美幸辉 气动蝶阀 BH-N63 BH-N63

（一）规格参数

公称通径：63A（DN63、KF-NW63），标配 KF 法兰，可更换 JIS/ISO/CF 法兰接口
真空区间：常压 1×10⁵Pa～高真空 1×10⁻⁵Pa；阀座内漏≤1×10⁻⁹Pa・m³/s，阀杆轴封泄漏≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s
气源条件：0.4~0.6MPa 洁净干燥压缩空气；过流零部件 SUS304 不锈钢，标配 FKM 氟橡胶密封，腐蚀工况更换全氟醚密封圈，介质长期耐温≤150℃
驱动配置：双级增压齿轮齿条气缸，0~45° 机械限位可调 + 90° 全开固定限位，可选配磁性开关实现阀位远程信号反馈

（二）结构性能

阀缸一体化紧凑壳体，精密齿轮齿条低摩擦传动、低发尘满足洁净制程；气缸端部一体式气垫缓冲，降低启闭冲击与运行噪音。中线全包弹性密封，双向承压全关零泄漏，无介质流向限制，立装、卧装、斜装均可。超薄阀体通导系数优异、阀体防静电导通，出厂逐台氦检气密，兼具精密节流稳压与紧急管路切断双重作用。

（三）适用行业

半导体：量产 PVD/CVD 设备预抽主管路、大型晶圆热处理炉进气主控；
锂电：量产电芯真空干燥炉、大容量脱泡釜负压总阀、生产线破真空调压；
光学：大型卷绕镀膜、光学元件溅射镀膜机主真空管路；
科研：高校大型真空钎焊炉、多工位量产氦检设备；
通用真空：罗茨泵、螺杆泵机组进出口、大中型真空腔体总切断阀。

（四）安装与运维

无安装方位限制，按需选配对应法兰对接管路；气源前端加装过滤减压阀。
维保：定期更换气源滤芯；FKM 密封圈按使用工况定期替换；阀体采用中性溶剂清洁；开度调节仅微调气缸端部限位螺钉，无需解体阀体，现场调试简便。