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高斯摩产品分类
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- NPM日本脉冲
- 住友化学
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- OHKURA大仓
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- 大阪大友 OSAKA-TAIY...
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- TSUBAKI 椿本
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- SUGAWARA 菅原
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- EMIC爱美克
- YAMAMOTO-MS山本镀金
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- HONDA本多
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- OTAKE大竹
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- SIMCO思美高
- 德国EGE-ELEKTRONI...
- WATSON深江化成
- 捷克DINEL
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- SONIC索尼克
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产品详情
简单介绍:
为 DN80 角型气动高真空挡板阀,美幸辉 G-J 系列主力规格,紧凑型气缸布局缩短整机高度,关阀末端气垫缓冲减震;球面均压密封,正反压差工况均可可靠锁止密封,腔体无死角、低放气,全工序无尘装配,适配 1×10⁵~10⁻⁶Pa 超高真空系统通断隔离。
详情介绍:
MIYUKI美幸辉 气动门阀 G-J80 G-J80
MIYUKI美幸辉 气动门阀 G-J80 G-J80
规格参数
公称通径:DN80(80A)连接法兰:标配 ISO 法兰,可选 KF80、JIS、CF 定制接口
工作真空区间:常压 1×10⁵Pa~1×10⁻⁶Pa
泄漏指标:阀体壳体漏率≤1×10⁻¹¹Pa・m³/s,阀座密封≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s
驱动气源:0.4~0.6MPa 工业压缩空气,单作用弹簧失气自动关阀
密封材质:标配 FKM 氟橡胶,可选 FFKM 全氟醚耐高温密封;常规 - 30~120℃,FFKM 可达 200℃短时工况
阀体材质:过流腔体 SUS304 真空轧制不锈钢,内腔精密抛光、无积尘死角,低出气量
选配配置:阀位微动开关(开 / 关信号反馈)、电磁阀成套、波纹管轴封防腐款
结构性能
紧凑型气缸:小体积大闭合力,行程末端气垫缓冲,降低阀板闭合冲击、延长密封圈寿命球面均压密封:阀座球面受力均匀,管路单侧带压差无需泄压直接关阀,反向承压密封稳定性强
一体轧制阀体:少焊缝结构,内壁平滑无滞留死角,抑制材料放气,满足半导体、镀膜超高真空洁净标准
全向安装:立式、卧式、侧向任意角度安装,管路排布灵活;密封件模块化,现场快速更换无需整阀拆机
应用场景
半导体晶圆设备真空支管隔断、光学连续镀膜机腔体隔离、科研超高真空试验舱、锂电真空烧结炉、光伏镀膜设备真空泵入口切断、精密电子制程洁净真空管路。
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