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产品详情
  • 产品名称:MIYUKI美幸辉 L型阀门

  • 产品型号:AB-C40 AB-C40
  • 产品厂商:MIYUKI美幸辉
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简单介绍:
气动 L 型超高真空阀,采用 SUS316L 金属波纹管轴封,无橡胶挥发,极限真空达 10⁻⁷Pa。全不锈钢阀体,刀口法兰配无氧铜垫圈,可高温烘烤,单 / 双作用气动可选,适配科研与半导体高真空工况。
详情介绍:

MIYUKI美幸辉 L型阀门 AB-C40 AB-C40


MIYUKI美幸辉 L型阀门 AB-C40 AB-C40




(一)规格参数

型号:AB‑C40(AB 系列气动 L 型阀)
公称口径:DN40 / CF40 刀口法兰
工作压力:大气压(10⁵Pa)~超高真空(≤10⁻⁷Pa)
阀体材质:SUS304 不锈钢(介质接触部)
轴封结构:SUS316L 焊接金属波纹管(无橡胶外露)
密封方式:阀座 FKM 氟橡胶密封;法兰刀口 + 无氧铜硬密封
泄漏率:≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s(波纹管级)
驱动方式:气动(单作用常闭 / 双作用可选)
工作气源:0.4–0.6MPa 干燥压缩空气
通导能力:约 15 L/s
使用温度:-20℃~+200℃(可高温烘烤除气)
法兰标准:CF40 全金属刀口法兰
反压兼容:支持正向 / 反向压差密封


(二)核心特性

全金属超高真空密封:金属波纹管轴封 + CF 刀口法兰无氧铜硬密封,无橡胶污染,极限真空 10⁻⁷Pa,可耐受 200℃高温烘烤。
CF 法兰高适配:CF40 全金属刀口法兰,适配科研、半导体高真空腔体原装 CF 管路,反复烘烤不漏气。
L 型大通导流道:90° 角设计、内腔平滑,流阻小、抽气效率高,节省安装空间。
超低泄漏高可靠:波纹管 + 氟橡胶双重密封,泄漏率极低,长期运行稳定。
气动**控制:单作用常闭(断电 / 断气自动关),双作用可选,适配自动化联锁控制。


(三)适用范围

半导体:工艺腔体、分子泵隔离、高纯气体管路通断。
科研实验室:高真空系统、质谱仪、薄膜规、电子束设备管路控制。
真空镀膜:高真空主阀、预抽 / 旁路隔离(CF 接口设备)。
工业真空:真空炉、氦检漏仪、锂电高真空化成设备(CF 管路)。


(四)结构设计

L 型直角流道:90° 转向,适配管路拐角安装,空间利用率高。
金属波纹管轴封:焊接式波纹管隔离真空与大气,无橡胶析出,耐高温烘烤。
升降式阀瓣:垂直启闭,密封面接触均匀,关闭严密、泄漏低。

侧置气动执行器:紧凑型气缸,安装便捷,适配狭小机柜 / 腔体旁空间。


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