产品名称：MIYUKI美幸辉 L型阀门

MIYUKI美幸辉 L型阀门 AB-C63 AB-C63

MIYUKI美幸辉 L型阀门 AB-C63 AB-C63

（一）规格参数

型号：AB‑C63（AB 系列气动 L 型阀）
公称口径：DN63 / CF63（刀口法兰）
工作压力：大气压～超高真空（≤10⁻⁷Pa）
阀体材质：SUS304 不锈钢，内腔电解抛光
密封材质：金属波纹管（无 O 圈动密封）
泄漏率：≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s（整机）
驱动方式：气动（双作用，常开 / 常闭可选）
工作气源：0.4–0.6MPa 干燥压缩空气
通导能力：约 115 L/s
使用温度：-20℃～+200℃（可烘烤）
法兰标准：CF63 刀口法兰（ISO 3669）
反压兼容：支持正向 / 反向压差密封，可正反安装
使用寿命：≥50 万次

（二）核心特性

波纹管密封、超高真空：金属波纹管隔绝大气，无 O 圈磨损，漏率极低，适配超高真空环境。
CF 刀口法兰、密封可靠：全金属刀口密封，耐高温、无橡胶老化，适配长期高温烘烤除气。
大通导、抽气高效：90°L 型流道、内腔平滑，通导 115L/s，流阻小、抽气快。
可烘烤、洁净无忧：耐高温 200℃，可在线烘烤除气，适配半导体、镀膜等高洁净场景。
气动平稳、适配自动：双作用气缸带缓冲，启闭平稳，可配电磁阀与位置反馈，适配自动化控制。

（三）适用范围

真空镀膜：半导体镀膜、光学镀膜机超高真空主阀 / 隔离阀。
工业真空：真空热处理炉、真空钎焊炉、高温除气设备（CF 管路）。
科研实验室：超高真空腔体、分子泵 / 离子泵隔断、氦检系统。
真空机组：超高真空站、精抽回路、泵组隔离管路。

（四）结构设计

L 型直角流道：90° 转向，节省安装空间，适配管路拐角位置。
金属波纹管组件：焊接式波纹管，弹性好、寿命长，动密封零泄漏。
升降式阀瓣：垂直启闭动作，密封面贴合均匀，闭合密封性良好。

侧置气动执行器：紧凑型气缸设计，运行平稳，使用寿命长久。