产品名称：HORIBA 堀场 蒸汽浓度监测仪

HORIBA 堀场 蒸汽浓度监测仪  IR-322MB

HORIBA 堀场 蒸汽浓度监测仪  IR-322MB

设备规格

一体化紧凑型结构，尺寸 124×50.8×135mm（不含突出部件），重量约 1.7–1.9kg，安装方向无限制，易嵌入机台或机柜。壳体与接气通路采用 SUS316L 不锈钢，气室窗口为蓝宝石基材 + 耐腐金属镀层，耐受 TMIn、TEGa、TMAl 等腐蚀性介质。密封泄漏率≤5×10⁻¹²Pa・m³/s（He），满足高真空制程要求。电源 DC24V±10%/20W 或 ±15VDC/7W；气体流量 50–1000SCCM，工作压力 30–300kPa（A）。通讯含模拟量、RS-485、DeviceNet™及以太网接口，支持双路数据同步上传、远程监控与数据追溯。

核心技术特点

基于 NDIR 原理，双路 25mm 标准光程气室，适配 1–10vol% 宽浓度范围，兼容低 / 中浓度切换。每路双光束差分光学结构，优化光源稳定性与信号降噪，测量重复性≤±0.3% 满量程，线性≤±0.8% 满量程，长期稳定性提升。双高光强长寿命光源 + 高速 DSP，响应速度快（T90≤3.5 秒），实时捕捉两路浓度波动。多重校准曲线，每路可存 4 种化学品 / 量程参数，切换无需重校准。顶部集成双通道高亮显示与状态灯，现场直读两路浓度、管线状态及运行参数，支持远程参数配置。光学元件无易损件，光源寿命长，维护仅需定期检查气室清洁度，运维成本低。

主要应用范围

应用于半导体 MOCVD 制程，聚焦 LED、先进光学器件、第三代半导体材料及功率器件制造，适配 TMIn、TEGa、TMAl、DEZn 等1–10vol% 宽量程前驱体双路同步在线监测。双路并行检测，同步把控两路前驱体供料稳定性，优化温度、压力、载气流量等参数，减少薄膜沉积不均、器件性能差异，提升良率与一致性。实时监测前驱体消耗，预判鼓泡器更换，避免非计划停机，减少高价值化学品损耗。适配刻蚀、沉积等干式制程前驱体系统，以太网通讯便于接入工业物联网平台，支撑先进半导体制程精细化管控与全链路数据追溯。