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  • 产品名称：ULVAC 爱发科 轻型螺杆干式

  • 产品型号：RS RS
  • 产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：
ULVAC 爱发科 Model:RS 为轻量化小型螺杆干式真空泵，整机采用风冷散热设计，无需外接冷却水路，大幅缩减配套辅件。机身尺寸紧凑，支持多方位安装布局，干式无油结构输出洁净真空，搭配防回流阀体与基础状态监测组件，运行振动与噪音数值偏低，适配实验室小型腔体、微型镀膜设备等小容积洁净真空工况。
详情介绍：


ULVAC 爱发科 轻型螺杆干式 Model:RS Model:RS


ULVAC 爱发科 轻型螺杆干式 Model:RS Model:RS



ULVAC Model:RS 系列包含 RS40、RS80 两款标准机型，50Hz 工况下额定抽速分别对应 40m³/h、80m³/h，切换 60Hz 供电模式后排气能力同步提升，设备极限真空稳定维持 5Pa，适配各类小型腔体快速预抽作业。整机搭载小型单相 / 三相通用感应电机，功率匹配机型分为 1.1kW、1.8kW，供电兼容 AC200-240V 电压区间，可匹配实验室设备、小型自动化设备供电体系。进气端口统一配置 KF25 微型标准法兰，排气端采用 KF16 接口，管路占用空间更小，便于设备内部集成布设。整机采用一体式风冷散热结构，无需配套循环水、冷却塔等水路辅材，减少现场管路搭建工作量。机身预留多组固定安装孔位，支持立式、卧式两种安装形态，适配机柜内嵌、设备侧边集成等狭小布局。机身内置温度、真空压力传感单元，实时反馈设备基础运行工况，风道内置消音结构优化运行噪音，适配实验室、小型洁净车间低噪作业环境。


Model:RS 采用微型双螺杆干式非接触啮合结构，泵腔内部不添加润滑油介质，从源头杜绝油雾返流污染小型工艺腔体，满足实验室精密样品处理洁净要求。整机采用轻量化一体化机身成型工艺，整体体积相较常规工业干泵大幅缩小，解决小型真空设备配套泵体安装空间不足的问题。螺杆转子经过高精度动平衡校正工艺，整机运行振动幅度低，可直接集成于检测、小型镀膜设备机身周边，不会对样品测量、薄膜沉积精度形成干扰。设备搭载独立风冷循环散热架构，依靠机身内置散热风扇带走气体压缩产生的热量，省去水冷管路、水泵等配套组件，降低整套真空系统布设复杂度。进气端内置一体式防回流保护阀，设备停机瞬间自动闭合，阻断腔体内部介质回流至泵腔，避免螺杆与腔体内壁附着工艺杂质。整机采用简易模块化拆分布局，密封组件、散热风扇单元可独立拆装更换，无需整机拆解即可完成常规检修与损耗件更换。
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