产品名称：热式气体质量流量控制器｜大仓 OHKURA

高性能气体质量流量控制器｜大仓 OHKURA

高性能气体质量流量控制器｜大仓 OHKURA

1. 产品规格参数
MF5100B 采用一体化金属紧凑型机身，标准尺寸 60×130×80mm，整机重量约 800g，两端配置标准卡套螺纹接头，便于气柜多路密集集成安装。流量规格完整覆盖 5SCCM 至 400SLM 全区间，细分微量、中流量、大流量多档标准量程，出厂以氮气标定，配套气体转换系数可适配氧气、氩气、氢气、氦气、二氧化碳等常规气体，腐蚀性工况可定制耐腐接液通路。
设备有效控制区间为满量程 2%~100%，标准线性度 ±0.5% FS，高精度版本可达 ±0.8% FS，重复测量误差≤±0.2% FS，设定流量收敛至 ±2% FS 范围内响应时长≤3 秒；温度稳定性 ±0.05% FS/℃，长期运行温漂控制优异。阀体密封工艺精良，氦气泄漏率≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s，满足超高纯、真空腔体使用标准。
流体工况参数：*大工作压力 1.0MPa，瞬时耐压 1.5MPa，管路压力损失≤5kPa；工作环境温度 0~50℃，湿度 10%~90% RH 无凝露。电气采用 15V 直流供电，功耗≤3VA，输入输出标配 0~5V 模拟信号，可选 1~5V 输出，统一 DB9 端子接口；内置电磁阀软启动系统，支持开机、参数切换、外部阀门开启三种启动模式，线性上升时长*长 70 秒可调，电路集成多重防冲击保护。整机机械、电气接口与 MF1100B 完全兼容，原有管路、供电、显示外设可直接复用。
2. 核心产品特性
MF5100B 核心优势为超宽流量适配、高纯真空低泄漏、可调式多级软启动、新旧设备通用互换四大亮点，解决大流量工艺控流不稳、气流冲击腔体、真空管路泄漏超标、产线升级改造繁琐等痛点。
热式质量传感闭环架构直接采集气体质量流量，无需额外加装温压补偿配件，系统搭建结构简化，管道压力、环境温度波动时流量输出无偏移，减少配套仪表采购成本。超低泄漏全不锈钢密封通路，杜绝杂质气体渗入腔体，适配半导体镀膜、刻蚀等高纯制程，保障工艺洁净度。
三模式独立可调软启动为核心防护功能，可根据工艺需求切换启动逻辑，平缓线性提升阀门开度，消除瞬时高压气流冲击，避免腔体震动、过滤芯破损、粉体翻扬，延长后端工艺配件使用寿命。全量程标准化产品线单型号覆盖微量至大流量供气，一台设备适配多道工艺管路，降低备品库存种类。
机身、电气接口与 MF1100B 完全通用，老旧产线升级无需改造气路、控制柜接线，直接拆装替换即可投产，大幅缩短停工改造周期。标准化 0~5V 模拟信号可直连 PLC、记录仪实现远程自动调控，也可外接本地显示面板手动设置流量，兼顾单机调试与整线全自动生产两种运行模式；整机电路高度集成，故障点位少，连续运行可靠性高。