KOFLOC 科赋乐流量设备微量流体热传感与变截面测控技术

KOFLOC 科赋乐流量设备微量流体热传感与变截面测控技术

KOFLOC 科赋乐创立于 1949 年，核心研发方向聚焦微量气体、腐蚀性介质、洁净流体的流量测量与闭环控制，产品线依托热扩散传感、变截面浮子、卡门涡街三类成熟测量原理搭建，整机流道、阀体、传感元件采用模块化精密加工，可覆盖从实验室微量载气到产线大流量吹扫全量程工况，设备精度、响应速度、耐介质腐蚀性能适配半导体、光伏、精细化工、生物制药多类洁净制程标准。

品牌两大核心测量技术具备明确差异化参数表现。其一为变截面浮子流量测控技术，RK 系列采用高精度锥形成型管搭配球形浮标，集成一体式精密微调针阀，依靠流体浮力与流通截面积平衡实现可视流量读数，量程覆盖 0.5mL/min 至 200L/min，常规机型测量精度稳定在 ±2% FS，高精密版本可达 ±1% FS；机身区分 Pyrex 玻璃、SUS316 不锈钢、PFA 树脂多种接触介质材质，低压款压损低至 0.6KPa，适配低压气源长期稳定供气场景，整机无电子元件，无需供电即可持续监测流体流量。其二为热式质量流量控制技术，全系 MFC 搭载高速热绕组传感器，配合比例电磁阀形成闭环调控，全量程响应时长控制在 1 秒以内，控制区间覆盖满量程 2% 至 100%；腐蚀工况机型采用 EP 抛光全金属密封流道，可通入氯气、硅烷等特种工艺气体，支持 RS485、EtherCAT 工业通讯协议，可直接接入自动化产线控制系统完成远程流量参数调节与数据采集。液体监测设备采用卡门涡街检测结构，压电元件外置不接触介质，PFA 无密封圈流路规避微粒析出，内置温度补偿模块抵消液体温度波动带来的测量偏差，适合高纯药液、清洗液定量输送监测。

晶圆加工产线长期批量使用科赋乐热式 MFC 与浮子流量计，可作为品牌落地行业技术应用案例。该产线开展 8 英寸功率芯片刻蚀、薄膜沉积全流程加工，前期通用流量控制器存在流量波动大、腐蚀性气体长期使用出现内部渗漏、小量程供气精度不足等问题，刻蚀工序气体配比失衡直接造成晶圆表面蚀刻不均，批量产品良率波动明显。更换 KOFLOC 半导体专用 3200 系列金属密封质量流量控制器搭配 RK1200 微量吹扫流量计后，热传感闭环控制稳定各工艺气体供给比例，全金属焊接流道降低特种气体泄漏风险，微量吹扫回路依靠浮子针阀精准调节氮气载气流速，刻蚀、沉积工序工艺参数一致性提升，批次产品外观与电性占比持续收窄。相关产线仅市场化采购标准化流量设备投入加工使用，未参与品牌传感、阀体结构联合开发，属于常规洁净流体测控应用场景，直观体现科赋乐设备在精密半导体制程中的稳定适配能力。

依托不同流体介质与工艺需求，科赋乐设备可对应多细分产业技术要求。半导体制造领域选用低泄漏全金属 MFC、钛合金流道浮子流量计，适配刻蚀、镀膜、晶圆吹扫、清洗高纯流体管控；光伏硅片生产匹配防爆款质量流量控制器，针对硅烷等易燃易爆气体设置流量超幅自动切断机制，保障沉积、扩散工序供气；精细化工与环境分析仪器采用微量玻璃管流量计，精准控制色谱仪载气、实验室反应釜配比气体流量；生物制药产线选用 PFA 材质涡街液体流量计，无析出流道满足药液输送、培养基定量添加洁净标准；通用自动化设备、离子风机、点胶机配套经济型 RK 系列浮子流量计，完成设备内部氮气、干燥空气旁路吹扫监测；燃烧、烘箱供热场景选用耐高温大流量金属管机型，耐受 120℃介质工作环境。

科赋乐主流技术产品线及对应工艺特性划分清晰，覆盖全行业流体测控需求。 RK 系列变截面浮子流量计，包含微量实验室款、通用设备嵌入款、耐高温金属款、低压损专用款，优势为无源可视读数、流量手动微调、多材质适配；热式质量流量控制器 MFC，分通用模拟通讯机型、半导体耐腐蚀全金属机型、微流量低泄漏机型，主打高速响应、自动化闭环调控、特种气体兼容；第三类 FM 系列卡门涡街液体流量计，全 PFA 接触介质、无移动磨损部件、温度自动补偿，用于高纯液体定量监测；第四类配套数显流量采集模块，支持多台流量计集中数据汇总、流量累计、异常信号输出，适配产线集中监控改造需求。