严苛腐蚀真空工艺选型，仅单一真空泵类型可稳定运行？

一、ULVAC 爱发科品牌发展与技术体系概述

ULVAC 爱发科创立于 1952 年，品牌名称取自 Ultimate Vacuum 缩写，核心业务围绕真空生成、真空检测、薄膜沉积相关设备研发制造，总部设于日本神奈川县，产品覆盖粗真空至超高真空全压力区间设备，配套完整真空组件与工况适配方案。品牌技术路线以分场景机型划分体系，针对无污染洁净制程、含腐蚀粉尘化工制程、超高真空精密检测三类工况，分别开发干式、油封、分子、低温四大类真空泵产品线，不同系列采用差异化腔体涂层、温控结构、密封方案，适配不同行业气体、粉尘、水汽介质条件。品牌技术研发围绕真空腔体防沉积、泵体连续运转稳定性、真空环境洁净度三个方向迭代，整机配套标准化通讯接口、温度监测模块，便于接入自动化产线集中管控。

二、ULVAC 真空泵主流产品线结构与基础运行逻辑

品牌真空泵按真空获取原理分为四大品类，各类机型运行机制、基础参数边界存在明确区分。

油封旋片真空泵以 GLD-N 系列为代表，依靠旋片旋转改变腔体容积，真空油同时承担密封、润滑、降温作用，属于粗、中真级抽气设备，极限真空区间适配镀膜、实验室小型真空腔体预抽，整机配备防油返流结构，可长时间间歇运转。

干式真空泵不含真空润滑油，细分螺杆干泵 MS 系列、多级罗茨 HR/UR/LR 系列、隔膜 DA 系列。螺杆干泵转子表面做防腐涂层，适配含酸碱、粉尘废气；多级罗茨系列按恒温区间划分梯度，LR 低温款用于无腐蚀镀膜，HR 标准高温款适配常规刻蚀、CVD，UR 超高温款针对大量沉积物的 ALD、金属刻蚀工艺，全程伴热减少介质附着腔体；隔膜泵腔体无金属摩擦，多用于小型实验室、低负荷洁净工况。

涡轮分子泵、低温 CRYO 系列用于高、超高真空区间，分子泵依靠多级动静叶片传递气体分子动量，需搭配前级干泵或油封泵联合使用；低温泵通过低温吸附、冷凝捕捉腔体气体，无油污染，适配电子显微镜、质谱仪等精密检测设备，可实现 10⁻⁷Pa 以下超高真空环境。