高斯摩推荐日本清和光学SEIWA MS-200-TWL三波长同轴无限远管镜

日期：2026-09-03 14:09

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摘要：日本清和光学 SEIWA MS-200-TWL 三波长同轴无限远管镜技术解析产品名称：清和光学三波长同轴无限远管镜型号：MS-200-TWL 关键词：无限远同轴管镜、f=200mm、三波长色差校正、355/532/1064nm、1.1 英寸靶面相机、明场检查、激光修复、C 接口简介： MS-200-TWL 是日本株式会社清和光学製作所（SEIWA OPTICAL）生产的无限远同轴管镜，焦距为 200mm，属于 MS-200 系列。该管镜采用无限...

产品名称：清和光学三波长同轴无限远管镜

型号：MS-200-TWL

关键词：无限远同轴管镜、f=200mm、三波长色差校正、355/532/1064nm、1.1 英寸靶面相机、明场检查、激光修复、C 接口

简介：

MS-200-TWL 是日本株式会社清和光学製作所（SEIWA OPTICAL）生产的无限远同轴管镜，焦距为 200mm，属于 MS-200 系列。该管镜采用无限远光学系统与同轴照明结构，可匹配 1.1 英寸靶面相机，适用于明场高分辨率检查。光学系统针对 YAG 激光 1～3 次谐波（355nm、532nm、1064nm）进行了色差校正，除可见光物镜外，还可配合紫外（NUV、DUV）与红外（PEIR）物镜使用。产品配备 C 接口、光纤插入口、F20 滤镜插入口与可变光圈，并支持 L 型或转塔安装，广泛用于半导体晶圆缺陷检测、平面显示器检测与曝光设备、激光修复机等工业光学系统。

详情：

1. 无限远光学系统与同轴照明设计

MS-200-TWL 采用无限远（Infinity）光学系统，焦距 200mm，与无限远物镜组合后可构成完整的成像光路，适用于明场高分辨率检查。管镜内置同轴照明结构，光线经同轴光路进入物镜照射被测物，反射光沿同一光路返回成像，可避免斜向照明带来的阴影与反光干扰，有利于稳定获取对比度均匀的检查图像。

2. 大靶面适配，匹配 1.1 英寸相机

该管镜可匹配 1.1 英寸靶面相机，配合清和光学特别设计的优化物镜，可在较大成像范围内实现超大视场与超长工作距离观察，兼顾视场覆盖与检查清晰度。除 1.1 英寸相机传感器类型外，产品还提供适配直径 18mm 传感器（TCD18）的版本，用户可根据相机选型进行对应配置。

3. 三波长色差校正，适配激光应用

MS-200-TWL 的光学系统针对 YAG 激光 1～3 次谐波（355nm、532nm、1064nm）进行了色差校正，可在这些激光波长下保持较为一致的成像质量。这一特性使其适用于激光修复、激光加工等需要激光与检查光路共用的设备场景，减少波长差异带来的色差与焦面偏移，保障激光作业中的观察与定位精度。

4. 多波长物镜兼容，覆盖可见光至红外

管镜不仅适用于可见光波段物镜，还可与紫外波段物镜（NUV、DUV）以及红外波段物镜（PEIR）组合使用，覆盖从紫外到红外的较宽波长范围。用户可根据检测对象与光源类型选择相应物镜，灵活构建适用于不同波段的光学检查系统，适配半导体、平面显示器等多样化的检测需求。

5. 结构紧凑，接口配置齐全

MS-200-TWL 配备 C 接口，便于与工业相机快速连接；管镜本体设有光纤插入口、F20 滤镜插入口及可变光圈，可方便地引入同轴光源、插入滤光元件并调节进光量，满足不同照明与成像条件的调节需求。产品提供 L 型或转塔安装类型，可根据设备内部空间与安装方式灵活选择，便于集成到检测设备与激光设备中。

6. 典型应用与定制对应

MS-200-TWL 主要应用于半导体晶圆缺陷与瑕疵检测、平面显示器（触摸屏、OLED、LCD）的曝光设备与检测设备、激光修复机，以及半导体、MEMS 相关的曝光与检测设备。针对需要激光与检查共用的场合，清和光学可接受 OEM 定制，将管镜作为激光管镜（laser tube lens）使用，适配不同设备厂商的光学系统需求。

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