高斯摩推荐爱发科 ULVAC LS 系列干式螺杆真空泵技术解析

日期：2026-09-04 11:35

浏览次数：0

摘要：在半导体、电子、光伏及真空镀膜等对洁净度要求严苛的工艺中，真空泵的性能直接关系到腔体抽气效率、运行能耗与工艺稳定性。传统油封泵虽应用广泛，但存在返油污染与维护频繁等不足。日本爱发科（ULVAC）推出的 LS 系列干式螺杆真空泵，以螺杆式干式抽气结构与节电技术的结合，实现了高速排气、低功耗与洁净真空的平衡，为要求严格的工业应用提供了可靠选择。一、产品概述 LS 系列是爱发科面向低、中真空应用推出的一类螺杆型干式真空泵，通过壳体内相互啮合的螺杆转子旋转，使流体连续沿轴向移动实现抽...

在半导体、电子、光伏及真空镀膜等对洁净度要求严苛的工艺中，真空泵的性能直接关系到腔体抽气效率、运行能耗与工艺稳定性。传统油封泵虽应用广泛，但存在返油污染与维护频繁等不足。日本爱发科（ULVAC）推出的 LS 系列干式螺杆真空泵，以螺杆式干式抽气结构与节电技术的结合，实现了高速排气、低功耗与洁净真空的平衡，为要求严格的工业应用提供了可靠选择。

一、产品概述

LS 系列是爱发科面向低、中真空应用推出的一类螺杆型干式真空泵，通过壳体内相互啮合的螺杆转子旋转，使流体连续沿轴向移动实现抽气，全程不使用油或液体，可提供洁净的真空环境。该系列包含 LS120A、LS300A、LS600A、LS1200A 四种机型，抽气能力覆盖 120 至 1200m³/h 量级（配合机械增压泵），用户可根据设备尺寸、工艺条件与用途选择*佳排气容量的机型。

二、高速排气性能

LS 系列在接近大气压的压力范围内仍能保持较高的抽气速度，这是其显著优势之一。相较于常规低功耗干泵，LS 系列在大部分压力区间抽速更高，从而有效缩短了腔体从大气压抽至目标压力的时间。以 LS120A 为例，在 100L 腔体、2 英寸管路、目标压力 10Pa 的条件下，其抽气时间相比普通低功耗干泵可缩短约 20%，有助于提升设备运行节拍与工艺产能。

三、ECO-SHOCK 节电技术

针对干式真空泵长期运行能耗较高的问题，LS 系列搭载了爱发科**的 ECO-SHOCK 节电技术（C 型）。该技术通过控制电机在低负荷工况下的运转，使泵在到达极限压力附近时以更低功率运行。以 LS120A-C 为例，其在极限压力下的功耗可低至 0.6kW 以下，处于行业**水平，显著降低了长期连续运行的电力成本，契合节能降耗的工艺需求。

四、低噪声与低运行成本

LS 系列内置消音器，运行噪声可控制在 61dB (A) 以下，降低了设备在车间或实验室环境中运行的噪声影响。同时，泵在运行中无需轴封气体（L 型可选配吹扫气体），减少了气体消耗与配套成本；干式结构免除了油品的定期更换与维护，进一步降低了整体运行成本与维护负担。

五、洁净真空与适用范围

由于 LS 系列全程不接触油或液体，腔体内可获得洁净、无油污染的真空环境，特别适合对洁净度要求高的工艺场景。结合高速排气与低功耗特性，LS 系列广泛应用于半导体制造、平板显示、光伏、真空镀膜等产业，以及各类要求稳定、长期连续运行的工业真空工艺，为工艺良率与设备可维护性提供保障。

六、典型应用

凭借高速排气、低功耗、低噪声与洁净真空等综合特性，LS 系列适用于半导体设备、电子与 FPD 制造、真空镀膜、材料处理及科研实验等需要清洁且高效真空环境的场合，为用户提供从选型到运行的整体抽真空解决方案。

下一篇：高斯摩推荐荏原EBARA 3D系列单级端吸离心泵
上一篇：暂无