高斯摩分享Pfeiffer普发HiPace300M涡轮分子泵轴磁悬浮技术

日期：2026-09-06 18:31

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摘要：产品概述 Pfeiffer 普发 HiPace300M 属于 HiPace‑M 系列紧凑型磁悬浮涡轮分子泵，是面向高真空、超高真空工况开发的核心真空设备，氮气抽速可达 300L/s，采用 5 轴全磁悬浮轴承结构，整机实现无油化运行，规避润滑油带来的腔体污染风险，广泛适配分析仪器、表面科学实验、光学镀膜、小型半导体工艺腔体等对洁净度与振动控制有严苛要求的场景。该型号将转子、驱动控制单元高度集成，结构紧凑，支持多角度安装，适配设备集成化、小型化的发展趋势，成为科研与**制造领域高真空获取的主流设备选型。核心技术原理...

产品概述

Pfeiffer 普发 HiPace300M 属于 HiPace‑M 系列紧凑型磁悬浮涡轮分子泵，是面向高真空、超高真空工况开发的核心真空设备，氮气抽速可达 300L/s，采用 5 轴全磁悬浮轴承结构，整机实现无油化运行，规避润滑油带来的腔体污染风险，广泛适配分析仪器、表面科学实验、光学镀膜、小型半导体工艺腔体等对洁净度与振动控制有严苛要求的场景。该型号将转子、驱动控制单元高度集成，结构紧凑，支持多角度安装，适配设备集成化、小型化的发展趋势，成为科研与**制造领域高真空获取的主流设备选型。

核心技术原理

HiPace300M 依托 5 轴磁悬浮轴承技术，转子全程处于悬浮状态，运行过程不存在机械接触，从根源消除轴承磨损问题。系统可实时对转子位置进行动态调控，具备自动动平衡补偿能力，能够抵消运行过程中产生的振动偏移。泵体转子采用复合转子结构，结合涡轮叶片与霍尔韦克拖拽级结构，兼顾大气体通流能力与高压缩比，针对轻气体氢气、氦气也拥有良好的抽除表现，可稳定搭建超高真空环境。

设备内置发电保护机制，在突发断电工况下，电机可临时充当发电机维持转子悬浮，避免转子跌落损伤，有效提升设备与后端腔体的运行**性，降低意外断电带来的设备损坏风险。

关键性能特性

整机完全无碳氢化合物输出，保障真空腔体内部洁净，不会对样品、光学元器件造成油污染。设备振动幅值低，杂散磁场干扰小，适配扫描电镜、表面分析设备等对振动、磁场敏感的精密仪器配套使用。启动时间短，可快速到达目标真空区间，缩短工艺等待周期。

该机型适配多种冷却方案，可选择对流空气冷却或者水冷模式，满足不同环境散热条件；泵体设置密封气体接口，通入保护气可减少工艺气体向泵内部侵蚀，拓展部分轻度腐蚀性气体工况的使用边界。驱动单元集成于泵体本体，减少外部控制器布线，降低现场安装复杂度，可适配设备原厂集成与后期改造项目。

工况适配与系统搭配

HiPace300M 不能独立完成抽真空工作，需要搭配前级真空泵组成真空机组。可匹配涡旋干式泵、隔膜泵、小型旋片泵作为前级，将腔体从大气压预抽至分子泵允许启动前级压力，之后分子泵投入工作，实现粗真空向高真空、超高真空的过渡。

在实际工况选择上，该机型更适合洁净无粉尘、无大量可凝性蒸汽的工艺环境。如果工况存在大量粉尘、强腐蚀介质，需要增加前置过滤、气路防护组件，同时评估介质兼容性，避免内部转子、泵壳受到侵蚀。设备支持连续长时间不间断运行，适合实验室长期实验、镀膜产线循环作业等场景。

运维特点

得益于全磁悬浮无接触轴承设计，设备正常工况下几乎无需轴承维护，大幅减少备件更换频次，降低长期使用运维成本。日常维护重点集中在前级泵维护、管路检漏、密封气体供给检查。设备自带 LED 状态显示，可直观反馈运行、故障、温度等信息，便于现场人员快速判断设备工作状态。当出现温度超限、前级压力异常等问题，驱动单元会自动执行保护逻辑，降低故障扩大风险。

典型应用场景

科研分析领域：扫描电镜、聚焦离子束设备、X 射线光电子能谱仪等分析仪器真空源配套；材料科学超高真空样品处理腔体。
光学镀膜行业：光学镜片、光学元器件的磁控溅射、电子束蒸发镀膜腔体。
半导体及精密制造：小型工艺腔体、零部件表面处理、器件封装测试真空环境搭建。
物理实验平台：真空测试平台、空间模拟小型试验腔体等科研装置。

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