技术分享HORIBA堀场SEC-Z500X数字质量流量控制器技术解析

日期：2026-09-15 06:52

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摘要：【产品概述】 SEC-Z500X 是 HORIBA 堀场 STEC 推出的数字式质量流量控制器，是半导体、精密镀膜工艺中气体流量精准调控的核心器件。该设备依托成熟的热式流量检测原理，集成压电式高速控制阀，专为半导体制造、真空工艺、薄膜沉积、刻蚀等精密制程开发，可对工艺气体进行稳定、连续的流量控制。产品支持多气体、多量程切换，无需拆卸管路即可完成参数修改，大幅降低产线调试与备件管理成本，在高纯工艺气体管控领域应用广泛。【核心技术原理】 SEC-Z500X 基于热式质量流量检测原理，利用传感器检测气体流动带来的热量变化，...

【产品概述】

SEC-Z500X 是 HORIBA 堀场 STEC 推出的数字式质量流量控制器，是半导体、精密镀膜工艺中气体流量精准调控的核心器件。该设备依托成熟的热式流量检测原理，集成压电式高速控制阀，专为半导体制造、真空工艺、薄膜沉积、刻蚀等精密制程开发，可对工艺气体进行稳定、连续的流量控制。产品支持多气体、多量程切换，无需拆卸管路即可完成参数修改，大幅降低产线调试与备件管理成本，在高纯工艺气体管控领域应用广泛。

【核心技术原理】

SEC-Z500X 基于热式质量流量检测原理，利用传感器检测气体流动带来的热量变化，将热量信号转化为对应的质量流量数值，不受温度、压力波动带来的体积流量干扰，直接读取气体质量流量。内置压电阀执行机构，搭配可变 PID 动态调节系统，根据设定流量与实时检测流量差值快速调整阀门开度，实现闭环流量控制。设备内部预存储多种工艺气体标定数据，通过软件切换气体种类与量程，无需单独重新标定。整机采用全金属密封结构，满足半导体高纯气体输送的洁净要求，有效减少气体吸附、析出污染风险。

【产品核心特性】

高精度流量控制，控制精度可达 ±1.0% 设定点，保障工艺重复性。
压电阀驱动搭配可变 PID 算法，流量响应速度快，可快速达到设定目标。
多气体、多量程兼容，现场软件切换参数，无需拆管更换硬件。
全金属流路设计，低析出、低吸附，适配高纯特种气体工况。
丰富通讯接口，同时支持模拟信号、DeviceNet、EtherCAT 等通讯方式，方便接入产线控制系统。
结构紧凑，安装适配性强，便于集成在气体控制柜、半导体工艺设备内部。

【典型应用场景】

半导体晶圆刻蚀、薄膜沉积工艺；真空镀膜、PVD/CVD 设备；燃料电池研发测试；实验室气体配比装置；精密材料气相合成实验。

【使用与维护注意事项】

使用前确认管路洁净，管路内部的粉尘、油污会损伤传感器，影响测量精度。通入气体前按照规范完成管路检漏，防止泄漏引发工艺异常与隐患。控制介质需过滤，避免微粒进入阀体内造成阀芯磨损。禁止超出设备额定压力、流量范围使用，防止传感器损坏。更换气体种类时，按照操作软件指引完成参数切换，切换后进行测试验证。长期停机保存前，使用高纯惰性气体吹扫流路，避免残留气体腐蚀内部组件。定期校验，保证流量控制精度满足制程管控需求。

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