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  • 产品名称：质量流量控制器

  • 产品型号：MF1141B
  • 产品厂商：OHKURA大仓
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简单介绍：
MF1100B 系列是实现高性能和低价格的质量流量计和质量流量控制器。 有 5 SCCM ~ 20 SLM 的 15 个流量范围，因此您可以轻松地将其用于分析和工业用途。
详情介绍：
长处

■ 高可靠性 通过集成
内部电路实现了可靠性和紧凑性。

■ 高兼容性 可以使用与我们的
MF5100B 系列相同的管道连接、电源和设置装置。

■丰富的外围设备

提供外围设备，如端子、设置设备、电源和带连接器的电缆。



规范
型 质量流量计 质量流量控制器
标准范围 低价产品 通用产品 低价产品 通用产品
控制范围 MF1121B MF1111B MF1171B（NC）
MF1181B（否） 		MF1141B（NC）
MF1151B（否）
精度等级 0~5 SCCM 0~100 SCCM 0~2 SLM
0~10 〃 0~200 〃 0~3 〃
0~20 〃 0~300 〃 0~5 〃
0~30 〃 0~500 〃 0~10 〃
0~50 〃 0~1,000 〃 0~20 〃 		0.1~5 单晶片管 2~100 单晶管 0.04~2 单晶管
0.2~10 〃 4~200 〃 0.06~3 〃
0.4~20 〃 6~300 〃 0.1~5 〃
0.6~30 〃 10~500 〃 0.2~10 〃
1.0~50 〃 20~1,000 〃 0.4~20 〃
控制范围 － 2~100%F.S
精度等级 ±2% FS 或更低 ± 1.5% FS 或更低 ±2% FS 或更低 ± 1.5% FS 或更低
线性 ±1% FS 或更低 ± 0.7% FS 或更低 ±1% FS 或更低 ± 0.7% FS 或更低
再现性 ± 0.2% FS 或更低 ± 0.2% FS 或更低 ± 0.2% FS 或更低 ± 0.2% FS 或更低
响应时间 收敛时间在设定值的 ±2% F.S. 以内，约 3 秒内
*大工作压力 1.0MPa
压力 1.5MPa
压降 5.0 百帕
工作压差 － 5SCCM~5SLM ： 34~275kPa
10~20SLM ： 69~275kPa
流量设置 － 0~5V 直流 0~5V DC（标准）1
~5V DC（可选）
输出信号 0~5V 直流 0~5V DC（标准）1
~5V DC（可选）
工作温度范围 5~45°C （相同气体温度）
安装姿态误差 ± 0.5% FS 或更低（安装姿势自由）
泄漏标准品 1.013×10-9・m3/s（He） 或更低（典型值）
管道连接 1/4 世伟洛克（标准），VCR（可选）
气体接触材料 SUS316， 氟橡胶 SUS316， 氟橡胶， 含氟聚合物
质量 约 680 克 约 800 克
功耗 1VA 或更低 3VA 或更低



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