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  • 产品名称：流量控制器

  • 产品型号：MF5100B
  • 产品厂商：OHKURA大仓
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简单介绍：
MF5100B 系列是一款质量流量计和质量流量控制器，兼具易用性和高性能，例如大流量范围、高温稳定性和三种模式的软启动功能。
详情介绍：
长处

■ 流量范围
广 流量范围广，从*小 5 SCCM 到*大 400 SLM。

■高可靠性
通过集成每个电路和优化机械系统，尽管体积小，但我们实现了高可靠性。

■ 软启动功能
主机内置的软启动功能是线性上升，时间可调（*长 70 秒），并以三种不同的模式运行（更改设置时、打开电源时、外部阀门关闭→打开时）。

■ 稳定性
高 温度稳定性为0.05%/°C，泄漏标准高达1×10-10Pa·m3/s（He）。

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