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  • 产品名称：ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵

  • 产品型号：UR3601-TT
  • 产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：
多级罗茨干式真空泵是一种在真空室内不使用油或液体的机械真空泵。
详情介绍：

多级罗茨干式真空泵是一种在真空室内不使用油或液体的机械真空泵。

在 FPD、电子和半导体行业等领域，需要更清洁的真空，并且需要真空泵来提高产量和可维护性。 常见的泵之一是罗茨干式真空泵。

通过在高温范围内均衡泵体的热量，可以将 CVD、蚀刻等产生的升华废气物质以

气态排出。

长处

可以在气态下排放高温区域热均衡

CVD 和蚀刻产生的升华废气排放物。

“Model：UR” 甚至可以高于 “Model：HR”。

由于安装了氦气密封

屏蔽电机，因此具有密封结构，因此非常。

瞬时停止：在 1000 毫秒内实施瞬时停止

措施。

优异的耐腐蚀性主要

部件采用特殊的表面处理，以高表面硬度和优异的耐腐蚀性为标准。 减少排空腐蚀性气体时泵内部的腐蚀。

通信功能：

可以读取泵运行状态和警告/警报历史记录数据。 通过使用专用软件和计算机通信，可以进行集中监控。

用

CVD 设备

蚀刻设备

灰化装置

ALD、ALH 等

型 HR60 HR90 HR300 型 HR600 型 HR1200 型
使用的泵 DRP HR60 HR90 HR60 HR90 HR90
MPB - - PRC-003A 系列 PRC-006A 系列 PRC-012A 系列
大
抽速 		50 赫兹 m3/h
（升/分钟） 		62(1030) 112(1860) 359(5,980) 653(10,900) 1,012(16,900)
60 赫兹 m3/h
（升/分钟） 		80(1333) 126(2100) 365(6,080) 701(11,700) 1,051(17,500)
极限压力 帕 5 0.67
大入口压力
（入口压力）
大气压力 *1
大排气口压力
（排气压力） 		帕 1~大气压
进气口 （CE 规格） VG50（KF50） 系列 VG80型 （KF50） VG80（KF80） 系列 VG100型 （KF100）
排气口 肯氟烃40
质量 公斤 180 245 275 370 420
电力 三个阶段 交流电（Hz） 200(50/60), 220(60)
当前值 稳态 一个 7.1
（200V 时） 		11.2
（200V 时） 		7.8
（200V 时） 		12.9
（200V 时） 		15.4
（200V 时）
大值 一个 7.3
（200V 时） 		11.8
（200V 时） 		8.1
（200V 时） 		13.8
（200V 时） 		18.9
（200V 时）
冷却水临时压力 兆帕 0.1~0.3
冷却水入口/出口压差 兆帕 >0.1
冷却水流量 升/分钟 >5.0
吹扫气体 一次压力 兆帕 0.1~0.5
二次压力 兆帕 0.05~0.1
N2 吹扫 轴 SLM 系列 5
加斯伯勒 SLM 系列 0~45

ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 DAP-12S
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵DAP-9D-DC24
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵DAP-18S-DC24
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵DA-30D
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵DA-60S
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵DAT-50D
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵DAT-100S
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵DAP-15

ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 UR3601-TT

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