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  • 产品名称：ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵

  • 产品型号：GR180A
  • 产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：
多级罗茨干式真空泵是一种在真空室内不使用油或液体的机械真空泵。
详情介绍：

多级罗茨干式真空泵是一种在真空室内不使用油或液体的机械真空泵。

在 FPD、电子和半导体行业等领域，需要更清洁的真空，并且需要真空泵来提高产量和可维护性。 常见的泵之一是罗茨干式真空泵。

干式真空泵“Model：GR”是在久经考验的“Model：LR・HR”的基础上，为一般工业设计的结构简单的泵。

长处

可用于高负载应用，例如大气~真空的重复抽真空和高压区域的连续运行

非常适合需要高通量的载重锁室（制备室和取出室）的排气

与通用感应电机兼容

可安装防爆电机等特殊电机（可选）

使用多电压电机

用

真空排气清洁气体，如空气和惰性气体

各种沉积设备的制备室和取出室的排气

一般工业应用，如真空干燥、真空气体置换和真空消泡

真空气体置换，例如真空绝热和充气

型 GR60A 系列 GR90A 系列 GR180A 系列
大抽速 50 赫兹 m3/h（升/分钟） 62(1860) 112(1030) 183(3100)
60 赫兹 m3/h（升/分钟） 80(1333) 126(2100) 237(3850)
极限压力 *1 帕 5.0
大入口压力
气压
大排气口压力 帕 1~大气压
进气口 VG50 系列 VG80型
排气口 西北 40
DRP 表面处理 〇
发动机 输出功率 [kW] 2.2 3.7 7.5
电压 [V] 50 赫兹 200~240/380~415°C
60 赫兹 200~240/380~460°C
质量 公斤 128 188 268
冷却方式 冷却水
的一次供应压力 		兆帕 0.1~0.3
冷却水
入口/出口压差 		兆帕 >0.1
冷却水温度 °C 10~30 *2
冷却水流量控制 升/分钟 >5.0
氮气 一次供气压力 兆帕 0.1~0.5
出口
调节压力 *3 		兆帕 0.05~0.1（运转）
轴 SLM 系列 5.0 *4
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 DAP-6D

ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵 DAP-12S
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵DAP-9D-DC24
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵DAP-18S-DC24
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵DA-30D
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵DA-60S
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵DAT-50D
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵DAT-100S
ULVAC爱发科 隔膜干式真空泵DAP-15
ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 GR180A

ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 HR60

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