产品名称：ULVAC爱发科 罗茨泵

机械增压泵是一种可显著提高抽速的泵。

通过与油旋转真空泵或干泵等粗抽泵组合使用，在粗抽泵抽速下降的压力范围内，可以显著提高粗抽泵的抽速。

应用于半导体工艺、真空蒸馏、真空封装、脱气、薄膜、真空冶金、低密度风洞测试、太空探测、真空浸渍、真空干燥等众多领域。

通用型机械式增压泵

“型号：PMB Ver.D”是通用型机械式增压泵。

可选择可选的表面处理和常压驱动类型，也可以进行风冷运行。

长处

配备用于空气冷却的变频器，可在整个压力范围内进行风冷作。

由于它与可从多电压电机（200V 级、多电压）中选择的通用电机兼容，

因此也可以安装防爆电机（可选）。

表面处理具有优异的耐腐蚀性（选项：T 型）

主要部件经过阳极氧化处理，表面硬度高，耐腐蚀性优异。 减少泵内部的划痕和腐蚀。

由于可以同时使用常压驱动型（选项：变频器）

粗抽泵同时启动，可有效缩短排气时间，因此与标准型相比，可以缩短排气时间。

除了针对特殊应用的标准可选支持

外，还提供用于特殊应用的型号。

用

气相沉积、溅射、离子镀

真空干燥、冷冻干燥、真空脱气

分析仪器， 泄漏测试设备

气体置换、填充、真空绝热

热处理炉、熔炼炉

其他真空设备

规范

型号 *1				PMB100D	PMB300D	PMB600D	PMB1200D	PMB2400D
*大抽速		50 赫兹	m3/h （升/分钟）	95 （1,580）	280 （4,670）	500 （8,330）	1,000 （16,667）	2,000 （33330）	2,500 （41,667）
		60 赫兹		115 （1,920）	330 （5,500）	600 （10,000）	1200 （20,000）	2,400 （40,000）	3,100 （51,667）
*大吸入压力		50 赫兹	帕	9.3×103	1,2×103	1.3×103		2.0×103/8.0×102
		60 赫兹		6.2×103	9.3×102	1,1×103		1.5×103/6.7×102
*大允许压差		50 赫兹	帕	8.0×10 元3	4.0×103	7.3×103		3.5×103/4.7×103
		60 赫兹		5,6×103	3.3×103	6.0×103		3.0×103/4.7×103
极限压力 *2			帕	4.0×10-1			6,7×10-1
可驱动压力			帕	~1.0×105 （常压驱动）
电机 *3	电机功率 （位数）		kW （位数）	0.4(2)	0.75(2)	2.2(2)	3.7(2)	7.5(2)
	200V 级 电机	50 赫兹	V	200	ー
		60 赫兹		200/220	ー
	多电压 电机	50 赫兹	V	220~240/380~415°C	200~240/380~415°C
		60 赫兹		208~240/380~460°C	200~240/380~460°C
使用油 *4				ULVOIL R-42
所需油量			L	0.35	0.7	1.5	1.9	4
冷却系统 *5				风冷	风冷/水冷
冷却水	入口压力		Mpa	ー	0.3
	入口压差		Mpa	ー	0.05
	冷却水量		升/分钟	ー	2		3
	冷却水温度 *6		°C	ー	5~30
进气口 JIS-B-2290				VG50 等效值	VG80 等效值		VG100 等效值	VG200 等效值
排气孔 JIS-B-2290				相当于 VF50	相当于 VF80			相当于 VF200
质量			公斤	26	51	82	115	260
标准辅助泵				VD40C 系列	VD60C 系列	VD90C 系列	VS2401 系列	PKS-070B 系列	VS650B 系列
国际标准				CE、cTUVus
常压驱动逆变器规格 / 电压兼容			200V 级	I2，A2/200V~240V（50Hz/60Hz） *8
			400V 级	I4，A4/380V~480V（50Hz/60Hz） *8

ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 ES10-LR180
ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 ES10-LR90
ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 ES10-LR60
ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 ES4A -LR3601-R
ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 ES10 -LR1800
ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 CR300B
ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 CR60B-T
ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 CR60B-S
ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 CR30B
ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 CR16B
ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 GR180A
ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 GR90A
ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 GR60A
ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 HR1200
ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 HR600
ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 HR300
ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 HR90
ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 HR60