产品名称：ULVAC爱发科 罗茨泵

机械增压泵是一种可显著提高抽速的泵。

通过与油旋转真空泵或干泵等粗抽泵组合使用，在粗抽泵抽速下降的压力范围内，可以显著提高粗抽泵的抽速。

应用于半导体工艺、真空蒸馏、真空封装、脱气、薄膜、真空冶金、低密度风洞测试、太空探测、真空浸渍、真空干燥等众多领域。

通用型机械式增压泵

“Model：PRC” 是一种机械式增压泵，主要用于需要特别清洁度的半导体和液晶制造工艺。

采用封闭电机，油不会从轴封中泄漏。 也可以选择大气压驱动类型作为选项。

长处

由于无

油套管腔中没有润滑油，因此即使对水蒸气等蒸汽和溶剂也能获得稳定的性能。

屏蔽电机通过采用屏蔽电机，

我们能够消除大气/真空的机械密封。 无需担心漏油，可在清洁的环境中使用。

具有优异耐腐蚀性的

表面处理主要部件采用阳极氧化处理，表面硬度高，耐腐蚀性优异，抑制了泵内部的划痕和腐蚀。 还提供可选的表面处理。

由于它可以与常压驱动型（选项：变频）

粗抽泵同时启动，从而有效地缩短了抽气时间，因此与标准型相比，可以缩短排气时间。

除了针对特殊应用的标准可选支持

外，还提供用于特殊应用的型号。

用

气相沉积、溅射、离子镀

真空干燥、冷冻干燥、真空脱气

分析仪器， 泄漏测试设备

气体置换、填充、真空绝热

热处理炉、熔炼炉

其他真空设备

型号 *1			PRC-003A 系列	PRC-006A 系列	PRC-012A 系列	PRC-018A 系列
大抽速		50 赫兹	280米3/h （4670 升/分钟）	500 米3/h （8330 升/分钟）	1000 米3/h （16700 升/分钟）	1500米3 /h （25000 升/分钟）
		60 赫兹	330 米3/h （5500 升/分钟）	600米3/h （10000 升/分钟）	1200米3/h （20000 升/分钟）	1800 米3/h （30000 升/分钟）
大吸入压力		50 赫兹	1.2 x 103 帕	1.3 x 103 帕		1.2 x 103 帕
		60 赫兹	约9.3 x 102 帕	1.1 x 103 帕		约9.3 x 102 帕
大允许压差		50 赫兹	4.0 x 103 帕	7.3 x 103 帕		4.3 x 103 帕
		60 赫兹	3.3 x 103 帕	6.0 x 103 帕		3.2 x 103 帕
极限压力 *2			4.0 x 10-1 帕		6.7 x 10-1 帕
可驱动压力			~1.0 x 105 PA （大气压力驱动）
电机 *3	格式		屏蔽式三相异步电动机
	高效级		ー
	输出		0.75 kW （2 极）	2.2 kW （2 极数）	3.7 kW （2 极数）	5.5 kW （2 极）
	电压 （200V 级电机）	50 赫兹	200 伏
		60 赫兹	200/220 伏
使用油 *4			ULVOIL R-42
所需油量			0.7 升	1.5 升	1.9 升
冷却方式			水冷式
冷却水	入口压力		0.3 米帕
	入口压差		0.01 Mpa 或更高
	冷却水量		2 升/分钟		3 升/分钟
	冷却水温度 *5		5 ~ 30 °C
进气口 JIS-B-2290			VG80 等效值		VG100 等效值	相当于 VG150
排气孔 JIS-B-2290			相当于 VF80			相当于 VF100
尺寸 W×D×H *6			296×575×260 毫米	356×619×320 毫米	406×759×340 毫米	406×989×340 毫米
质量			51 千克	86 千克	118 千克	150 千克
标准辅助泵			VD60C 系列	VD90C 系列	VS2401 系列	VS2401 系列
标准配件			使用说明书 1 份，1 单位油

ULVAC爱发科 涡轮分子泵 VPT-060
ULVAC爱发科 涡轮分子泵 UTM3400A
ULVAC爱发科 涡轮分子泵 UTM2300A
ULVAC爱发科 涡轮分子泵 UTM1600A
ULVAC爱发科 涡轮分子泵 UTM1200A
ULVAC爱发科 涡轮分子泵 UTM300B
ULVAC爱发科 涡轮分子泵 UTM70B
ULVAC爱发科 涡轮分子泵 YTP70A-D
ULVAC爱发科 涡轮分子泵 YTP-300SAB
ULVAC爱发科 涡轮分子泵 YTP - 300MB
ULVAC爱发科 涡轮分子泵 YTP-50SAB
ULVAC爱发科 涡轮分子泵 YTP - 50MB
ULVAC爱发科 涡轮分子泵 UTM4300A-MS
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