产品名称：ULVAC爱发科 涡轮分子泵

涡轮分子泵是实现高真空环境的重要设备，广泛用于半导体制造和研究设施。 该泵通过高速移动分子来有效地产生真空。

涡轮分子泵由高速旋转的转子和固定定子组成。 转子的叶片与分子碰撞，使分子加速流向排气口，从而产生真空。 这个过程利用分子的动能并且非常高效。

与其他真空泵相比，涡轮分子泵具有非常高的抽速，可以快速准备真空环境，并且由于不使用油，可以提供清洁的真空环境，非常适合半导体制造等精密工作，并且具有从低真空到超高真空的广泛适用性，并应用于各种行业和研究领域。

这是一种涡轮分子泵，带有一个使用磁浮轴承的独立控制器。 我们拥有排气速度为 300~4000L/s 的型号阵容。 控制器可以监控运行状态并支持各种通信标准。

这是一种使用陶瓷滚珠轴承的复合翼型涡轮分子泵。

通过将控制器和泵集成在一起，可以节省空间。

出色的高背压特性也使得减小辅助泵的尺寸成为可能。

长处

由于对安装方向或

安装方向没有限制，因此扩大了设备设计的自由度。

带有

车载控制器的控制器安装在涡轮体上，可有效减少配线和缩小排气系统的尺寸。

高压缩比和高排气压力

压缩比以及在高背压下运行的能力使辅助泵的小型化成为可能。

提供三种类型的法兰：

VG、ICF 和 ISO-K，有三种类型的进气法兰可供选择。

它旨在减少碳氢化合物的回流，不仅在清洁真空

运行期间，而且在泵停止时也是如此。

用

主要用于分析设备、研发设备、实验室设备等的排气系统。

气相沉积设备、溅射设备等的主要排气系统

用于 H2 和 He 等轻气体的主排气系统

型				UTM70B 系列		UTM300B
泵	冷却方式			自然风冷	强制风冷	自然风冷	强制风冷
	法兰孔		进气口 *1	VG65、ICF114、ISO063-K		VG100、ICF152、ISO100-K
			排气口	KF16 系列		KF16 系列
	抽速 （无保护网）		注2	70 升/秒		280 升/秒
			他	60 升/秒		270 升/秒
			H2 型	49 升/秒		220 升/秒
	极限压力 *2	烘烤后		- *3	10-8帕	- *3	10-8帕
		烘烤前		10-6帕		10-6帕	10-6帕
	大压缩比			注 2 ： >1×109， 他 ： 4×107、H2 ： 4×105		注 2 ： >1×109， 他 ： 7×106, H2 ： 1×105
	大入口压力 *4， *5， *6		注2	0.43帕	1.1帕	0.06帕	0.7帕
	大排气口压力 *4， *5， *7		注2	300帕	900帕	100帕	1000帕
	*大连续运行流量 *8	无气体 吹扫	注2	15sccm *9	40sccm *9	10 厘米 *10	100 平方厘米 *10
		无气体 吹扫	氦气	-	10sccm *9	-	30 厘米 *10
		带气体 吹扫		-	15sccm *9	-	40 厘米 *10
	推荐辅助泵 （10SCCM 吸力时）*11			60L/min 或更高		120L/min 或更高
	质量			VG：3.3kg， ISF：3.0kg， ISO：5.0kg		6.0 公斤 / 9.0 公斤	6.3 公斤 / 9.3 公斤
	转速			87000转		60000转
	启动时间（*高 80%） （24 VDC 时，背压 5 Pa 或更低）			1.7 分钟		3.5 分钟
	表面处理 *12			没有
	安装方向			全方位
	噪声 *13			48 dB（A） 或更低		50dB（A） 或更低
电源规格	输入功率			DC24V ±5%，120W		DC24V ±5%，180W
	触点输入和输出			REMOTE（D-sub 15 针公头）4 个数字输入和输出，1 个模拟输出
	串行通信			RS-485 （D-sub 15 针公头，与 REMOTE 共享）
	LED 指示			电源、正常、警报
	开关			启动/停止，重置
	变速			转速可在默认泵数的 25%~100% 之间变化（以 0.1% 为增量设置）
	异常检测			检测警报、警告
	保护行为			警报、警告
标准配件				使用说明书 （CD-R）、保护网（** VG、ICF。 ISO 法兰集成在垫圈中）、垫圈 （用于进气口）、防尘帽（用于进气口、排气口、连接器）各 1 个
适用标准				CE、TUVus

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