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产品详情
简单介绍:
低温泵是一种伸缩式真空泵,旨在实现从高真空到超高真空的条件。 该泵将气体冷凝并吸附安装在内部的低温表面上,并有效地捕获它们。
详情介绍:
低温泵是一种伸缩式真空泵,旨在实现从高真空到超高真空的条件。 该泵将气体冷凝并吸附安装在内部的低温表面上,并有效地捕获它们。 低温泵的主要特点是可以提供无油污染的清洁真空。
此外,值得注意的是,低温泵尽管使用吸附方式,但与其他真空泵相比,其抽速非常高。 因此,低温泵被广泛用于需要清洁高效真空环境的各个行业和研究部门。
在考虑安装低温泵时,其高性能和提供清洁真空环境的能力是一大优势。
长处
它是一种 4 型低温泵,可提供佳的排气特性。
高抽速有助于提高抽速和生产率。
它特别适用于半导体制造设备和小型设备的溅射工艺。
一台压缩机多可以运行四个泵。
可根据用途设计制造。
规范
抽速 (20°C) | 氮 | L/s | 450 |
氢 | 500 | ||
氩 | 370 | ||
水 | 1,100 | ||
极限压力 | 帕 | 10-7 | |
大流量 | 氩 | 帕·L/秒 | 1.3×103 |
排气量 | 氩 | 帕·升 | 1.0×107 |
氢 | 1,5×10%5 | ||
冷却下降时间 | *小(50/60Hz) | 45/50 | |
质量 | 公斤 | 14.5 |
ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 RDA-281H
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ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 ES10-LR180
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