产品名称：ULVAC爱发科 低温泵

低温泵是一种伸缩式真空泵，旨在实现从高真空到超高真空的条件。 该泵将气体冷凝并吸附安装在内部的低温表面上，并有效地捕获它们。 低温泵的主要特点是可以提供无油污染的清洁真空。

此外，值得注意的是，低温泵尽管使用吸附方式，但与其他真空泵相比，其抽速非常高。 因此，低温泵被广泛用于需要清洁高效真空环境的各个行业和研究部门。

在考虑安装低温泵时，其高性能和提供清洁真空环境的能力是一大优势。

长处

它是一种 4 型低温泵，可提供佳的排气特性。

高抽速有助于提高抽速和生产率。

它特别适用于半导体制造设备和小型设备的溅射工艺。

一台压缩机多可以运行四个泵。

可根据用途设计制造。

规范

抽速 （20°C）	氮	L/s	450
	氢		500
	氩		370
	水		1,100
极限压力	帕		10-7
大流量	氩	帕·L/秒	1.3×103
排气量	氩	帕·升	1.0×107
	氢		1,5×10%5
冷却下降时间	*小（50/60Hz）		45/50
质量		公斤	14.5

ULVAC爱发科 涡轮分子泵 VPT-060
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