产品名称：ULVAC爱发科 油扩散泵

油扩散真空泵蒸发加热的油以产生油蒸气。 这种油蒸气通过喷嘴高速注入并与气体分子碰撞。 碰撞的气体分子在油蒸气流中向排气口移动，从而产生真空。 这个过程非常有效，尤其是在需要高真空的应用中。

油扩散真空泵可以实现 10^-7 Torr 至 10^-9 Torr 的高真空，与其他高真空泵相比，安装经济上容易，初始成本低，并且由于结构简单，具有可靠性和耐用性，可长期提供稳定的性能。 它广泛应用于研发等各个领域。

爱发科的 ULK 型油扩散泵是一种高真空排气泵，其设计具有大临界背压和小尺寸。

它被广泛用于从研究应用到生产线。

长处

它是一种坚固的高真空泵，没有机械滑动部件。

两种类型的油和加热器的选择将使您达到所需的抽速和极限压力。

它配备了一个机构，以防止液压油流向辅助泵侧。

用

・气相沉积设备

、高真空实验室设备

型				ULK-04A 系列		ULK-06A 系列		ULK-10A 型		ULK-14A 型
抽速				550 升/秒	500 升/秒	1200 升/秒	1100 升/秒	3400 升/秒	3000 升/秒	5400 升/秒	4900 升/秒
极限压力 *1				<2.6×10-5 帕	<2.6×10-6 帕	<2.6×10-5 帕	<2.6×10-6 帕	<2.6×10-5 帕	<2.6×10-6 帕	<2.6×10-5 帕	<2.6×10-6 帕
临界背压				40 帕	60 帕	40 帕	60 帕	35 帕	40 帕	30 帕	30 帕
开始时间				9 分钟	8.5 分钟	16.5 分钟	15 分钟	20 分钟	20 分钟	25 分钟	25 分钟
液压油 *2				ULVOIL D-11，SX 系列	ULVOIL D-31 （ULVOIL D-31）	ULVOIL D-11，SX 系列	ULVOIL D-31 （ULVOIL D-31）	ULVOIL D-11，SX 系列	ULVOIL D-31 （ULVOIL D-31）	ULVOIL D-11，SX 系列	ULVOIL D-31 （ULVOIL D-31）
油量				0.15 升		0.35 升		0.8 升		1.5 升
水温				19°C ~ 25°C
冷却水（ 尺寸×系统数量）				遥控 1/4”		遥控 1/4”		遥控 3/8”		遥控 3/8”
冷却水量				1 升/分钟		1 升/分钟	1.5 升/分钟	2.5 升/分钟	3 升/分钟	2.5 升/分钟	3.5 升/分钟
电压规格				200V / 1Φ
电源要求				0.55 千瓦	0.73 千瓦	0.9 千瓦	1.2 千瓦	2.4 千瓦	2 千瓦	2.25 千瓦	2.4 千瓦
加热器类型				热板		热板		热板		热板
推荐辅助泵 *3				VD151 / VD201 / PVD-180 / PVD-360 系列		VD30C / VD40C / VD60C		VD90C / VS1501 / PKS-016 / PKS-030		VS1501 / VS2401 / PKS-030
外径 *4			一个	175 毫米		250 毫米		340 毫米		340 毫米
			B	150 毫米		180 毫米		240 毫米		240 毫米
			H	346 毫米		454 毫米		650 毫米		670 毫米
进气口				VG100 系列		VG150型		VG250 系列		VG350型
排气口				VG25型		VG40 系列		VG80型		VG80型
质量				7.5 千克		13.5 千克		47 千克		56 千克
油位计				没有		没有		视窗		视窗
恒温器 选项				存在		存在		存在		存在
恒温器 设定温度				250 °摄氏度		250 °摄氏度		180 摄氏度		180 摄氏度

ULVAC爱发科 油扩散泵 BW-52
ULVAC爱发科 油扩散泵 BW-36
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ULVAC爱发科 油扩散泵 BW-04B
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ULVAC爱发科 油扩散泵 PFL-52
ULVAC爱发科 油扩散泵 PFL-36
ULVAC爱发科 油扩散泵 PFL-22TM
ULVAC爱发科 油扩散泵 PFL-22
ULVAC爱发科 油扩散泵 PBL-20
ULVAC爱发科 油扩散泵 PBL-14
ULVAC爱发科 油扩散泵 PBL-10
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ULVAC爱发科 油扩散泵 PBL-02
ULVAC爱发科 油扩散泵 ULK-14A