产品名称：ULVAC爱发科 热阴极电离真空计

这是传感器类型“型号：G-TRAN”多离子计的新型号，可以连接不同测量范围的测量元件。 这种三极管型电离真空计不易受到灵敏度的影响，即使在真空计难以控制的环境中也能进行更长时间、更准确的真空测量。 在继承高使用寿命和低运行成本的传统理念的同时，我们进行了更加用户友好的改进。

长处

可用性改进：可以通过 PC/智能手机连接设置设定点、状态检查等。

灯丝寿命通知功能：灯丝电量监控可提前通知灯丝寿命

可连接不同测量范围的传感器：多离子计允许根据应用选择测量元件

紧凑性：比传统产品小得多（控制器体积减少 56%），是世界上小的级别

产品阵容充实：除了模拟输出规格（ST200-A）和串行通信规格（ST200-R）外，还将增加EtherCAT规格（ST200-E）

世界上台三极管金属电离真空计（正在申请）：即使在恶劣环境中也能保持长寿命

压力测量范围广：从大气压到高真空 （1×10）+5~1×10-5Pa）（连接了可选单元 SWU10-R 时）

的大气压力测量：可以检查腔室打开时的大气压力（当连接到可选单元 SAU 时）

用

用于检查 OLED 和触摸屏等制造设备的极限压力，以及用于过程管理

用于检查真空炉等各种工业真空设备的极限压力

用于在含有大量碳氢化合物（油基）的气氛中进行测量

用于在真空部件加工过程中残留切削油和清洁液的环境中进行测量

对于希望减少真空计测量装置更换频率的真空设备

如果您在腐蚀性气体（卤素气体）环境中使用它，请联系我们。

规范

型		ST200-A 系列	ST200-R 系列	ST200-E（即将发布）
规范		标准规格	串行通信规格	EtherCAT 规范
自适应多离子计传感器		SWT-16（NW16）， SWT-25（NW25）
可连接的传感器		多离子真空计传感器：1 皮拉尼真空计 SWU10-R：1（可选） 大气 压力传感器 SAU：1（可选）
重复性 （N2)		ST200 独立模式：±2%
采样时间		60ms 5 移动平均线处理
测量值输出		输出电压 DC 0~10V LOG 输出 0.75V/个位数 压力转换公式 V=7.25+0.75×（LogP-2） P=10^{（V-7.25）/0.75+2}
更新时间		60 毫秒
控制输入信号		FIL ON/OFF、DEGAS ON/OFF 使用集电极开路输入、负逻辑运行	-	-
控制输出信号		传感器错误，设定点 1/2/3，发射有效，灯丝 功率监控 额定值：24V MAX，50mA MAX，1V 饱和电压	-	-
串行通信规格		-	RS232C/RS-485 接口	EtherCAT 技术
LED 指示		POWER/ERROR：电源、错误 LED（闪烁状态根据每种模式而变化）
发射电流		2mA（1×10-2Pa 或更低）、10 μA （1×10-2PA 或更高）
DEGAS		电子轰击方式，发射电流 2 mA，电网电压约 330 V
传感器耐压		2×10+5Pa （**压力） * 法兰和卡箍等耐压性必须单独考虑。
传感器内部容积		17 厘米3（SWT-16），19 厘米3（SWT-25）
工作温度范围		10~50°C
工作湿度范围		15~80% （无结露）
储存温度		-20~65°C（断电时，无冷凝）
IP 防护等级		IP30 防护等级
电源电压		DC20~28V（纹波、噪声 1% 以下） 8W 或更低
输入/输出连接器		D-sub 15 针（M2.6 螺丝）
质量		控制器：约 280g 测量元件（SWT-16、SWT-25）：80g
尺寸 W×D×H		69mm×63mm×90mm（控制器）
法规遵从性		CE
Op-syeong （奥普祥）	多离子计传感器	SWT-16 （NW16）， SWT-25 （NW25） 材质 ： 灯丝 ： Ir/Y2O3 涂层 其他： PtC-Mo， SUS304， W， 可伐合金玻璃， 可伐合金/镍电镀
	皮拉尼真空计	SWU10-R *兼容传统 SPU
	皮拉尼仪表传感器	SWP-16（NW16）， SWP-25（NW25）， SWP-R1/8（R1/8）， SWP-P18（Φ18管端）， SWP-P15（Φ15管端）， SWP-CF16（ICF034）材质 ： 细丝-Pt， 其他-BS/Ni， 电镀， Ni， 焊锡
	气压传感器	SAU（NW16） 材质：SUS316L
	单元电缆	GUC-200P（用于 SWU）：0.5m、1m、2mGUC-200A （用于 SAU）：0.5m、1m、2m
	显示单位	1CH：ISG1（使用 24V DC 电源）
	显示单元电缆	SH200 ~ 显示单元电缆 2m， 5m， 10m， 15m， 20m， 25m， 30m， 35m， 40m
	连接器	输入/输出连接器（D-sub15-soket（M2.6mm 螺丝））
	其他	检验报告、通用校准检验报告、JCSS 校准证书

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