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  • 产品名称：ULVAC爱发科 隔膜真空计

  • 产品型号：CCMT-100D
  • 产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：
“型号：CCMT-D”是一种电容式压力计，用于检测由于气体压力变化而在陶瓷制成的隔膜中变化的电容压力。
详情介绍：

“型号：CCMT-D”是一种电容式压力计，用于检测由于气体压力变化而在陶瓷制成的隔膜中变化的电容压力。

由于传感器部分具有一体式陶瓷结构，因此具有出色的再现性和稳定性，并且无论气体类型如何（压力真空计），都可以高精度地测量中低真空区域的压力。

长处

长期稳定的可制造性

由于使用了陶瓷膜，因此具有出色的耐腐蚀性

内置温度补偿电路型

保护传感器免受污垢影响的新结构

可通过按钮进行 0 点调整。

用

用于监测沉积设备过程中的压力

用于真空排气系统（如真空熔炼炉和真空热处理炉）的压力监测

用于太阳能电池等各种制造设备的压力监测

规范


型 CCMT-D 系列
满量程测量
 CCMT-1000D 系列 133kPa 满量程
CCMT-100D 系列 13.3kPa 满量程
CCMT-10D 系列 1.33kPa 满量程
CCMT-1D 系列 133Pa F.S.
分辨率 整箱为 0.003%
精度 *1 温度系数±读数的 0.2% ±
温度系数 零电压 0.015% 满量程 / °C
跨度电压 0.01% 相对湿度 / °C
工作温度范围 10~50°C
响应速度 30 毫秒或更短
气体接触材料 Al2O3， Vacon70*2， SUS316*3， 玻璃焊料， AgTiCu 硬焊料
输入功率 DC14~30V，1W
输出 直流 0~10VF.S
质量 329g（直径 12.7，标准型）
外形尺寸 直径 55 mm × 117 mm（直径 12.7 mm，标准型）
拟 合 标准：直径 12.7 管道
选项：NW16KF、Cajon 8VCR
温度补偿 内置温度补偿电路
输入/输出连接器 D-sub 15 针公头
ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵 ES10 -LR1800
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