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  • 产品名称：KOFLOC科赋乐 质量流量计

  • 产品型号：EX-550M
  • 产品厂商：KOFLOC科赋乐
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简单介绍：
KOFLOC科赋乐是日本流量控制设备制造商，专注于质量流量计（MFM）、质量流量控制器（MFC）和精密阀门的研发生产，产品以高精度、低压损、长寿命著称，广泛应用于半导体、光伏、医疗和化工等领域。
详情介绍：

它是一款全金属MFC，配备高速绕线传感器，具有出色的内部开发稳定性。

SEMI兼容106mm（可选择124mm）表面，RS485通信是标准配置。

高精度腐蚀性气体兼容产品，1.0％SP。

金属密封结构高速应答及出色的零点稳定性0-5V或4-20mA输入/输出信号，电源可从±15 V或24 V单电源选择□电源连接器采用通用性较高的D-sub9针连接器通过切换旋转开关，可以使用主机中登记的气体类型。

※流量是与N2气体的比率计算出的值

标准配备通讯功能（RS485）

符合RoHS•CE标准


技术优势

热式技术（气体）：

基于热扩散原理，直接测量气体质量流量（无需温压补偿）。

低流量灵敏度：可检测0.1 sccm（如半导体工艺气体控制）。

压差式技术（液体）：

通过层流元件产生压差，线性输出流量信号。

耐腐蚀设计：接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。

智能功能：

数字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。

自诊断报警（流量超限、传感器异常）。

典型应用场景

半导体制造

案例：晶圆刻蚀工艺中Cl₂气体流量控制（RK-1200系列）。

要求：流量稳定性±0.5%，响应时间＜1秒。

配置：钛合金流道（耐Cl₂腐蚀）+ 防爆认证（Ex d IIC T6）。

光伏产业

案例：硅烷（SiH₄）气体输送（MFC-3000系列）。

挑战：硅烷易燃易爆，需杜绝泄漏风险。

方案：全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。

化工流程

案例：腐蚀性液体（如盐酸）定量添加（RK-2400系列）。

材质选择：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。

形式 质量流量控制器
EX-250SC 		质量流量计

EX-250SM
传感器方式 热绕组传感器
阀门方式 比例螺线管阀门（未通电时关闭） –
目标气体（* 1） N2，Air，H2，He，Ar，O2，CO2等

（未列出的气体换算成N2）
流量范围（* 2） 10 SCCM~5 SLM
控制范围（测量范围） 2~100％（F.S.）
响应速度 总流量控制范围在1sec内（within±2%F.S.）
L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa –
精度（* 3） ±1.0%F.S.
再现性 ±0.2%F.S.
工作压差（* 4） 50~300 kPa（Ar，CO2：100 kPa~300 kPa） –
*大入口压力 500kPa（G）
耐压 980kPa（G）
He泄漏率（* 5） 1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下
温度 允许周围温度 5～50℃
精度保证温度 15～35℃
允许储存温度 -10～60℃
允许环境湿度 10～90%RH （无结露）
气体接触材料 SUS316，SUS316L，磁性不锈钢（* 6），PTFE，FKM
电气连接 Dsub 9针KFC标准（符合SEMI标准）
HR-10A
流量设定输入信号 0~5 VDC（输入电阻约1MΩ）
Or 4~20mA（输入电阻约250Ω） 		–
流量输出信号 0~5 VDC（负载电阻10kΩ以上）
or 4~20mA（负载电阻500Ω以下）
数字通信 通过RS485旋转开关设置地址
所需电源（DC） +15 VDC（±5％）100 mA以下，-15 VDC（±5％）150 mA以下
or+ 24VDC（±10％）180mA以下（MFM都为100mA以下）
接头（* 7） 1/4F900（标准）
安装姿势 推荐水平方向
重量（* 8） 约500g 约440g
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