产品名称：KOFLOC科赋乐 质量流量计

3810 S系列是一种低成本的质量流量传感器，它诞生于优良的旁路毛细管型质量流量传感器的基本结构，并在设备集成的前提下进行了合理化。

这是Kofflock的畅销产品，已被许多设备制造商采用，作为传统浮子式（锥管）流量计的替代品。

具有恒定电流温差检测方法和旁路毛细管方法的成熟低成本流量传感器。

实现浮动流量计0〜5VDC模拟流量输出允许各种应用，如测量记录，控制和报警质量流量（质量流量），因此无需通过复杂的温度和压力来计算流量校正

技术优势

热式技术（气体）：

基于热扩散原理，直接测量气体质量流量（无需温压补偿）。

低流量灵敏度：可检测0.1 sccm（如半导体工艺气体控制）。

压差式技术（液体）：

通过层流元件产生压差，线性输出流量信号。

耐腐蚀设计：接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。

智能功能：

数字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。

自诊断报警（流量超限、传感器异常）。

典型应用场景

半导体制造

案例：晶圆刻蚀工艺中Cl₂气体流量控制（RK-1200系列）。

要求：流量稳定性±0.5%，响应时间＜1秒。

配置：钛合金流道（耐Cl₂腐蚀）+ 防爆认证（Ex d IIC T6）。

光伏产业

案例：硅烷（SiH₄）气体输送（MFC-3000系列）。

挑战：硅烷易燃易爆，需杜绝泄漏风险。

方案：全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。

化工流程

案例：腐蚀性液体（如盐酸）定量添加（RK-2400系列）。

材质选择：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。