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产品详情
  • 产品名称:KOFLOC科赋乐 浮子流量计

  • 产品型号:RK1204M
  • 产品厂商:KOFLOC科赋乐
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简单介绍:
气体混合专用流量计应用了多个流量计且混合了多成分流体。只需将管道连接到各种成分气体入口和混合气体出口,即可进**体混合,适合用于实验室和实验室等中的简单气体混合。
详情介绍:

结构简单,易于维护。

精密针阀可轻松实现流量的微调。

有2~4种成分,能够制作各种气体、流量范围等。


技术优势

热式技术(气体):

基于热扩散原理,直接测量气体质量流量(无需温压补偿)。

低流量灵敏度:可检测0.1 sccm(如半导体工艺气体控制)。

压差式技术(液体):

通过层流元件产生压差,线性输出流量信号。

耐腐蚀设计:接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。

智能功能:

数字通信(RS-485、Modbus、DeviceNet)。

自诊断报警(流量超限、传感器异常)。

典型应用场景

半导体制造

案例:晶圆刻蚀工艺中Cl₂气体流量控制(RK-1200系列)。

要求:流量稳定性±0.5%,响应时间<1秒。

配置:钛合金流道(耐Cl₂腐蚀)+ 防爆认证(Ex d IIC T6)。

光伏产业

案例:硅烷(SiH₄)气体输送(MFC-3000系列)。

挑战:硅烷易燃易爆,需杜绝泄漏风险。

方案:全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。

化工流程

案例:腐蚀性液体(如盐酸)定量添加(RK-2400系列)。

材质选择:哈氏合金C276流道 + PTFE密封。

流体名称 Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2(实际气体校准)
其他气体在转换后进行校准,实际气体校准请另行咨询
流量范围 5~50ML/MIN至1~10L/MIN
1线10L/MIN以下,总流量20L/MIN以下
精度 FS±2%(计量点)
※可选 FS±1%(计量点)
耐压 0.5MPa
有效刻度 10:1 ※可选20:1


材质 SS制 BS制
主机区块 SUS316 黄铜
锥形管 硬质玻璃
密封材料 氟橡胶 NBR
浮标 硬质玻璃、SUS316
保护罩 丙烯
*高使用温度 60℃
连接端口 Rc1/4(标准)



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