产品名称：KOFLOC科赋乐 多刻度盘精密针阀控制器

附多刻度盘精密针阀在精密针阀MODEL 2412（P122）上装有多表盘，利用2412针的转数对流量的直线性及重现性，在刻度盘上实现流量刻度的设定。

精密针阀具有优异的流量特性和重现性，因此可作为针阀流量计的替代品使用。

多圈旋钮有标准型和圆形，针阀有T型和L型等，我们准备了与不同流量相匹配的丰富种类。（注）本机刻度未校准。

用途

用于过滤器老化检测

代替流量计

用于检测流路电阻变化

技术优势

热式技术（气体）：

基于热扩散原理，直接测量气体质量流量（无需温压补偿）。

低流量灵敏度：可检测0.1 sccm（如半导体工艺气体控制）。

压差式技术（液体）：

通过层流元件产生压差，线性输出流量信号。

耐腐蚀设计：接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。

智能功能：

数字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。

自诊断报警（流量超限、传感器异常）。

典型应用场景

半导体制造

案例：晶圆刻蚀工艺中Cl₂气体流量控制（RK-1200系列）。

要求：流量稳定性±0.5%，响应时间＜1秒。

配置：钛合金流道（耐Cl₂腐蚀）+ 防爆认证（Ex d IIC T6）。

光伏产业

案例：硅烷（SiH₄）气体输送（MFC-3000系列）。

挑战：硅烷易燃易爆，需杜绝泄漏风险。

方案：全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。

化工流程

案例：腐蚀性液体（如盐酸）定量添加（RK-2400系列）。

材质选择：哈氏合金C276流道 + PTFE密封