产品名称：KOFLOC科赋乐 压力调节阀

小巧的大流量专用压力调节阀
轻便小巧的同时还具有大流量环境下的良好控制特性，对于一次压力、二次压力变化的重现性高达±1％。
 完全隔绝流体
若将二次压力设为0，它还兼具截止阀的效果。
*适合用于串联安装
流体进出口设置在本仪器的侧面，便于敷设管道。
不渗液型
本产品属于不渗液型，而且经过了严格的泄漏检测，请您放心使用。

技术优势

热式技术（气体）：

基于热扩散原理，直接测量气体质量流量（无需温压补偿）。

低流量灵敏度：可检测0.1 sccm（如半导体工艺气体控制）。

压差式技术（液体）：

通过层流元件产生压差，线性输出流量信号。

耐腐蚀设计：接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。

智能功能：

数字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。

自诊断报警（流量超限、传感器异常）。

典型应用场景

半导体制造

案例：晶圆刻蚀工艺中Cl₂气体流量控制（RK-1200系列）。

要求：流量稳定性±0.5%，响应时间＜1秒。

配置：钛合金流道（耐Cl₂腐蚀）+ 防爆认证（Ex d IIC T6）。

光伏产业

案例：硅烷（SiH₄）气体输送（MFC-3000系列）。

挑战：硅烷易燃易爆，需杜绝泄漏风险。

方案：全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。

化工流程

案例：腐蚀性液体（如盐酸）定量添加（RK-2400系列）。

材质选择：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。

型号	6700A	6700B
一次侧*大压力	0.9MPa
二次侧控制压力	0.01〜0.3MPa	0.05〜0.6MPa
*小工作压差	0.05MPa
耐压力	1MPa
重现性	在额定压力的±1％范围内
环境温度	5℃〜60℃
额定流量	参照图表
接口	Rc3/8（标准）、Rc1/4
流体接触部分材质	（A） Aℓ、BSBM、NBR、POM、SUS316 （SS）SUS316、氟橡胶、氟树脂