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产品详情
  • 产品名称:KOFLOC科赋乐 小型卡门涡街流量计

  • 产品型号:FML-301
  • 产品厂商:KOFLOC科赋乐
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简单介绍:
FML-300 系列涡街流量计内置温度传感器,实现了过去由于流体温度变化而无法达到的高精度流量测量。量程从小流量(F.S.2.5L/min) 到大流量(F.S.250L/min), 并可对应多种液体。
详情介绍:

通过内置温度传感器在有液体通过时,实现了液体温度的可监测性
通过温度补偿减少了因液温变化而产生的精度误差
无0型圈设计,接触液体部位的材质均采用New PFA
体积更小,更节省空间
防水性相当于I P 6 5 等 级
电源为12-24VDC单电源驱动

技术优势

热式技术(气体):

基于热扩散原理,直接测量气体质量流量(无需温压补偿)。

低流量灵敏度:可检测0.1 sccm(如半导体工艺气体控制)。

压差式技术(液体):

通过层流元件产生压差,线性输出流量信号。

耐腐蚀设计:接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。

智能功能:

数字通信(RS-485、Modbus、DeviceNet)。

自诊断报警(流量超限、传感器异常)。

典型应用场景

半导体制造

案例:晶圆刻蚀工艺中Cl₂气体流量控制(RK-1200系列)。

要求:流量稳定性±0.5%,响应时间<1秒。

配置:钛合金流道(耐Cl₂腐蚀)+ 防爆认证(Ex d IIC T6)。

光伏产业

案例:硅烷(SiH₄)气体输送(MFC-3000系列)。

挑战:硅烷易燃易爆,需杜绝泄漏风险。

方案:全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。

化工流程

案例:腐蚀性液体(如盐酸)定量添加(RK-2400系列)。

材质选择:哈氏合金C276流道 + PTFE密封。

型号 FML-301 FML-302 FML-303 FML-304 FML-305 FML-306
测量流体 纯水、药液等
连接部位 3/8”Tube 3/8”Tube 1/2”Tube 3/4”Tube 1”Tube 1(1/2)”Tube
耐压(25℃) 1MPa(G) 0.75MPa(G) 0.65MPa(G)
接触液体部位材质 New PFA
流量范围 0.3~2.5L/min 0.4~4.0   L/min 2.0~16L/min 5.0~50L/min 10~100L/min 25~250L/min

流量精度(* 1)

±2.0%F.S.以内(流体温度:15℃~60℃) ±3.0%F.S以内
(流体温度:15℃
~60℃)
重现性 ±0.5%F.S.以内

流量输出

无显示器 I-电流输出或者P-脉冲输出 可选择
I-电流输出4-20mA(0-100%F.S.),容许负载电阻:24VDC输入时250~5000,12VDC输入时250Ω以下
P-脉冲输出(1kHz@F.S. 占空比50%NPN集电极开路输出Max。30VDC/80mA)
配显示器 I-电流输出或者P-脉冲输出 可选择
I-电流输出4-20mA(0-100%F.S.),容许负载电阻:24VDC时250~5002,12VDC时2500以下
P-脉冲输出(1kHz@F.S. 占空比50%NPN集电极开路输出Max.30VDC/80mA);   累计输出:脉冲输出
温度输出
(* 2)
无显示器
配显示器
1-5VDC(0-100℃)外接负载电阻:250kQ以上
4-20mA(0-100℃)容许负载电阻:24VDC输入时250-5000,12VDC输入时2500以下
通信 无显示器
配显示器 2线RS-485(Modbus、RTU)
警报输出 警报接点:2点NPN集电极开路输出(Max30VDC/80mA)[**配显示器的型号]
温度精度 ±2℃ ±0.15×△T℃ △T: |环境温度-流体温度
流体温度 0~90℃(不上冻或沸腾)
环境温度 0~50℃(不上冻)
环境湿度 95%RH以下
保存温度 -10~70℃(不上冻)
电源 无显示器 12~24VDC±10%消费电流80mA以下
配显示器 12~24VDC±10%消费电流140mA以下
保护结购 相当于IP65(防水,防尘规格)
电线长度 3m(终端处理,有预备焊锡)
适合规格 RoHS210物质,CE
重量 无显示 160g以下 175g以下 200g以下 360g以下
配显示 165g以下 180g以下 205g以下 365g以下

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