产品名称：KOFLOC科赋乐 小型卡门涡街流量计

将障碍物（柱状物体、涡流发生器）置于流体中，其后方将产生规则卡门旋涡。
此卡门旋涡的产生频率在一定范围内与流速成比例。

没有可移动部分，可靠性、耐用性良好，不会因安装姿势而产生误差
流路中只有涡流发生器和涡流检测器，结构简单，压力损失小，不易漏液。
检测器不与液体相接，因此*适合用于各种液体工艺流程的监控
机身材质采用PFA，无粒子
适用于全球规格（获得CE标志认证）
MODEL31系列的接液部分均采用聚四氟乙烯材质，无O环，*适合用于半导体工艺流程中液体流量的监控

技术优势

热式技术（气体）：

基于热扩散原理，直接测量气体质量流量（无需温压补偿）。

低流量灵敏度：可检测0.1 sccm（如半导体工艺气体控制）。

压差式技术（液体）：

通过层流元件产生压差，线性输出流量信号。

耐腐蚀设计：接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。

智能功能：

数字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。

自诊断报警（流量超限、传感器异常）。

典型应用场景

半导体制造

案例：晶圆刻蚀工艺中Cl₂气体流量控制（RK-1200系列）。

要求：流量稳定性±0.5%，响应时间＜1秒。

配置：钛合金流道（耐Cl₂腐蚀）+ 防爆认证（Ex d IIC T6）。

光伏产业

案例：硅烷（SiH₄）气体输送（MFC-3000系列）。

挑战：硅烷易燃易爆，需杜绝泄漏风险。

方案：全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。

化工流程

案例：腐蚀性液体（如盐酸）定量添加（RK-2400系列）。

材质选择：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。