产品名称：KOFLOC科赋乐 小型卡门涡街流量计

设计简单，令无效区*小化
可对微小流量（0.5L/min）进行测定
采用PPS树脂，小型轻巧又坚固
获得CE标志认证

技术优势

热式技术（气体）：

基于热扩散原理，直接测量气体质量流量（无需温压补偿）。

低流量灵敏度：可检测0.1 sccm（如半导体工艺气体控制）。

压差式技术（液体）：

通过层流元件产生压差，线性输出流量信号。

耐腐蚀设计：接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。

智能功能：

数字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。

自诊断报警（流量超限、传感器异常）。

典型应用场景

半导体制造

案例：晶圆刻蚀工艺中Cl₂气体流量控制（RK-1200系列）。

要求：流量稳定性±0.5%，响应时间＜1秒。

配置：钛合金流道（耐Cl₂腐蚀）+ 防爆认证（Ex d IIC T6）。

光伏产业

案例：硅烷（SiH₄）气体输送（MFC-3000系列）。

挑战：硅烷易燃易爆，需杜绝泄漏风险。

方案：全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。

化工流程

案例：腐蚀性液体（如盐酸）定量添加（RK-2400系列）。

材质选择：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。

型号			FM0101	FM0102	FM0103	FM0105
尺寸（a）			17.8	17.8	17.8	32.5
尺寸（L）			80.6	80.0	80.0	110.0
连接部分（X）			R3/8	R1/2	R1/2	25A（负责35A配管）
流量范围			0.5〜4L/min	2〜16L/min	4〜40L/min	10〜150L/min
测定流体			冷却水、清洁水等
测定精度			±3%F.S.以内（at25℃）
重现性			±0.5%F.S.以内
输出	带显示器	D	显示：3位LED
			电流输出：4～20mA（线性）
			警报输出：开集（LED2个max80mA 30VDC）
	无显示器	S	电流输出：4～20mA（线性）
		P	脉冲输出：开集（max10mA30VCD）
电源电压			12〜24VDC
流体温度			0〜70℃
耐压			1MPa（G）
允许周围温度			0〜50℃
允许环境湿度			5〜90%RH（无结露）
防尘、防水规格			IP64（JIS C0920、防沫结构）
接液部分材质 （O环）氟橡胶			PPS/掺杂30％玻璃			PPS/ 无玻璃
电缆长度			无显示器：附带已进行2m终端处理的备用焊料
			带显示器：附带已进行3m终端处理的备用焊料
重量			无显示器：85g（主机）			165g（主机）
			带显示器：100g（主机）			205g（主机）