高斯摩产品分类
PRODUCT CLASSIFICATION

产品详情
  • 产品名称:EBARA荏原 涡轮分子泵

  • 产品型号:EMT4200MK
  • 产品厂商:EBARA荏原
  • 产品文档:
你添加了1件商品 查看购物车
简单介绍:
涡轮分子泵是一种高真空泵,利用高速旋转的涡轮叶片与气体分子碰撞,将气体分子从进气口推向排气口,从而实现高真空的获取。
详情介绍:

涡轮分子泵是一种高真空泵,利用高速旋转的涡轮叶片与气体分子碰撞,将气体分子从进气口推向排气口,从而实现高真空的获取。它由德国物理学家贝克(W. Becker)于1958年发明,是现代高真空和超高真空技术中的核心设备之一。涡轮分子泵通常与前置泵(如干式泵或旋片泵)结合使用,以在宽压力范围内实现高效抽气。

涡轮分子泵特点

高抽气速度:涡轮分子泵对轻质气体(如氢气、氦气)和中质气体(如氮气、氧气)具有较高的抽气速度,能够快速建立并维持高真空环境。

结构精密:涡轮分子泵的转子叶片和定子叶片采用精密加工技术,确保高速运转时的稳定性和可靠性。

低振动和低噪音:现代涡轮分子泵采用先进的动平衡技术和减振设计,运行时振动和噪音极低。


技术发展趋势

更高转速和更高效能:通过改进转子设计和材料,提升泵的转速和抽气效率。

智能化控制:引入智能监控系统,实时监测泵的运行状态,实现远程控制和故障诊断。

新材料应用:采用陶瓷、复合材料等高性能材料,提高泵的耐腐蚀性和使用寿命。

紧凑化设计:通过优化结构设计,减小泵的体积和重量,便于集成到小型化设备中。


EBARA荏原 超高浓度清洁臭氧发生器(2)

OZC型

OZW型 臭氧水发生器

 

EBARA荏原 CMP设备 F-REX型(1)

3.  F-REX200M2

F-REX300X

F-REX300XA

EBARA荏原 电镀设备(1)

UFP-AS

EBARA荏原 边缘研磨设备(1)

EAC型


咨询留言
* 请输入您的名字,方便我们和您联系
* 请输入您的电话,方便客服及时解答您的问题
* 请输入您详情地址,方便详细提供当地的市场讯息